HORIBA 智能型多功能橢偏儀儀器介紹：

多功能性設(shè)計(jì),，配置靈活，具備多角度測量能力,，可方便實(shí)現(xiàn)在線與離線配置切換,。是一款針對單層和多層薄膜進(jìn)行簡單，快速,，表征和分析的工具,。

技術(shù)參數(shù)：

· 光譜范圍：450-1000nm

· 多種微光斑自動(dòng)選擇

· 光斑可視技術(shù)，可觀測任何樣品表面

· CCD探測器

· 自動(dòng)樣品臺尺寸：200mmX200mm,；XYZ方向

· 自動(dòng)調(diào)節(jié); Z軸高度>35mm

HORIBA 智能型多功能橢偏儀主要特點(diǎn)：

· 一鍵式操作,，直接報(bào)告輸出

·液晶調(diào)制技術(shù)，測量光路中無運(yùn)動(dòng)部件

· CCD 探測系統(tǒng),，快速全譜輸出

· 多個(gè)微光斑尺寸選擇,，可視技術(shù)

· 多角度測量

· 可實(shí)現(xiàn)在線測量配置