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產品簡介
詳細介紹
桌面式半導體快速退火爐，RTP-TABLE-6是一款桌面型快速退火設備,，標配三組工藝氣體,，可最大兼容6英寸晶圓Wafer。
桌面式半導體快速退火爐的產品優(yōu)勢
?紅外鹵素燈管加熱,，冷卻采用風冷,；
?采用快速PID溫控，可精準控制溫度升溫,，保證良好的重現(xiàn)性和溫度均勻性,；
?采用平行氣路進氣方式，氣體進出口設置在晶圓表面,，避免退火過程中冷點產生,，保證良好的溫度均勻性；
?大氣與真空處理方式均可選擇,，實現(xiàn)進氣前氣體凈化處理,。
晟鼎與華南理工大學聯(lián)合創(chuàng)建等離子技術聯(lián)合實驗室，所有產品系列皆通過CE認證,。