半自動快速退火爐RTP-SA-12是在保護氣氛下的半自動立式快速退火系統(tǒng),，可兼容4-12英寸晶圓Wafer。

半導(dǎo)體快速退火爐的產(chǎn)品優(yōu)勢

?采用紅外鹵素燈管加熱,，冷卻采用風冷,；

?快速PID溫控，可精準控制溫度升溫,，保證良好的重現(xiàn)性和溫度均勻性,；

?采用平行氣路進氣方式，氣體進出口設(shè)置在晶圓表面,，避免退火過程中冷點產(chǎn)生,，保證良好的溫度均勻性；

?大氣與真空處理方式均可選擇,，實現(xiàn)進氣前氣體凈化處理,；

?標配兩組工藝氣體，最多可擴展至6組工藝氣體,。

晟鼎精密核心產(chǎn)品系列有接觸角測量儀,、等離子清洗機、USC干式超聲波除塵清洗機,、離子靜電消除裝置,、半導(dǎo)體快速退火爐等表面性能處理及檢測儀器設(shè)備。