接觸角測量儀在半導體晶圓表面潤濕性上的應用
晶圓制造是一種高精度,、高技術的制造過程,每一個步驟都需要嚴格控制條件,,確保芯片的質量符合要求,。
但是在晶圓制造中有一個很容易被人忽視的細節(jié),那就是晶圓表面的潤濕性,。在半導體晶圓材料的生產和制造過程中,,表面的潤濕性是至關重要的。例如,,當晶圓上的微電子器件需要被沉積或鍍膜時,,若表面潤濕性不良,則會導致涂層厚度不均或成膜缺陷等問題,。
*圖源:Tom聊芯片智造
除了以上沉積與鍍膜問題,,在清洗上,晶圓表面的潤濕性對晶圓也會有一定的影響,,親水性表面可以讓晶圓與清洗液更好地進行接觸,,達到更理想有效的清洗效果;反之,,疏水性表面與清洗液接觸則會形成水珠狀液滴,,造成清洗效果不佳,會對后續(xù)的工藝造成不良影響,,導致?lián)p失,。因此,表面接觸角的測量成為了晶圓制造過程中的步驟,。
晟鼎接觸角測量儀突出優(yōu)勢
晟鼎精密專注接觸角測量儀研發(fā)十余年,,致力于為全球用戶提供專業(yè)的表面檢測解決方案。是國家接觸角國家標準(GB/T 30693-2014)參與制定者,。
對比市面上國產和進口的接觸角分析功能,,晟鼎接觸角測量儀具有八大分析功能,擁有“在線接觸角分析"及鋪展尺寸分析"功能,。
同時,,晟鼎接觸角測量儀運用高精準的擬合方法,可以得出更精確的檢測結果,測量誤差值更小,。
*由上圖數據可知,,晟鼎接觸角測試各項誤差值都低于進口接觸角測量儀。
全自動晶圓型SDC-500W
SDC-500W接觸角測量儀用于晶圓(Wafer)表面的檢測,,通過測試液滴在晶圓表面形成接觸角的大小,,分析晶圓表面親水性和疏水性??赏瑫r滿足6-12寸晶圓樣品的多點位測試,。
產品優(yōu)勢
①多點位矩陣型測試
矩陣型多點測試,測試精準方便,。對比現(xiàn)有其他品牌的測量儀最多12點位測量,,晟鼎晶圓款可一次性測50個點位,,可在原圖直接顯示數據并保存,,一鍵式導出數據譜圖。
②樣品臺du特
設計專為晶圓設計,,方便拿取和測量,。
提升產品良率的專業(yè)解決方案
晟鼎除了擁有出色的接觸角技術以外,在晶圓去膠等方面也有廣泛的應用,,致力于為客戶提供專業(yè)的解決方案,。