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產(chǎn)品特點(diǎn)：

◆  7 寸彩色觸摸屏中英文互動(dòng)操作界面，自動(dòng)控制監(jiān)測(cè)工藝參數(shù)狀態(tài),，20 個(gè)配方程序,，工藝數(shù)據(jù)可存儲(chǔ)追溯。

◆  PLC 工控機(jī)控制整個(gè)清洗過(guò)程,，手動(dòng),、自動(dòng)兩種工作模式。

◆  石英真空艙,，真空管路系統(tǒng)采用 316 不銹鋼材質(zhì),，耐腐蝕無(wú)污染。

◆  采用質(zhì)量流量計(jì),，實(shí)現(xiàn)對(duì)氣體輸入精準(zhǔn)控制,，改變傳統(tǒng)浮子流量計(jì)控制氣體流量不準(zhǔn)確問(wèn)題。

◆  HEPA 高效過(guò)濾,，氣體返填吹掃,，防止二次污染。

◆  60 度傾角操作界面設(shè)計(jì),，符合人體功能學(xué),，操作方便，界面友好,。

◆  頂置真空艙,，上開蓋設(shè)計(jì)，下壓式鉸鏈開關(guān)方式,，開關(guān)蓋方便,。

◆  采用花灑式多孔進(jìn)氣方式，改變傳統(tǒng)等離子清洗機(jī)單孔進(jìn)氣不均勻問(wèn)題,。

◆  上置式 360 度自由水平取放樣品托盤設(shè)計(jì),，符合人體功能學(xué)，操作更方便,。

◆  有效清洗面積大,，可清洗最大直徑 8 吋硅片。

◆  安全保護(hù)，艙門打開,，自動(dòng)關(guān)閉電源,。

技術(shù)參數(shù)：