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目錄:華儀行(北京)科技有限公司>>CIF材料表面處理儀器>>CIF等離子清洗機>> CPC-G/PlusCIF實驗室型等離子清洗機

CIF實驗室型等離子清洗機
  • CIF實驗室型等離子清洗機
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  • CIF實驗室型等離子清洗機
參考價 面議
具體成交價以合同協(xié)議為準
參考價 面議
具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 品牌 CIF
  • 型號 CPC-G/Plus
  • 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)商
  • 所在地 北京市
屬性

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更新時間:2024-10-25 15:58:15瀏覽次數(shù):2640評價

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產(chǎn)地類別 國產(chǎn) 應用領域 環(huán)保,地礦,能源,交通
CIF推出全新一代 CPC-G系列實驗室型等離子體清洗設備,, 改變傳統(tǒng)等離子體清洗設備設計理念。CIF實驗室型等離子清洗機具有較大的腔體尺寸和有效樣 品處理面積,, 使用成本低,, 性價比高,, 處理快速高效, 特別適合于大學,, 科研院所和光電企業(yè)實驗室小批量中試生產(chǎn),。

產(chǎn)品特點:

◆  7 寸彩色觸摸屏中英文互動操作界面,自動控制監(jiān)測工藝參數(shù)狀態(tài),,20 個配方程序,,工藝數(shù)據(jù)可存儲追溯。

◆  PLC 工控機控制整個清洗過程,,手動,、自動兩種工作模式。

◆  石英真空艙,,真空管路系統(tǒng)采用 316 不銹鋼材質(zhì),,耐腐蝕無污染。

◆  采用質(zhì)量流量計,,實現(xiàn)對氣體輸入精準控制,,改變傳統(tǒng)浮子流量計控制氣體流量不準確問題。

◆  HEPA 高效過濾,,氣體返填吹掃,,防止二次污染。

◆  60 度傾角操作界面設計,,符合人體功能學,,操作方便,界面友好,。

◆  頂置真空艙,,上開蓋設計,下壓式鉸鏈開關方式,開關蓋方便,。

◆  CIF實驗室型等離子清洗機采用花灑式多孔進氣方式,,改變傳統(tǒng)等離子清洗機單孔進氣不均勻問題。

◆  上置式 360 度自由水平取放樣品托盤設計,,符合人體功能學,,操作更方便。

◆  有效清洗面積大,,可清洗最大直徑 8 吋硅片,。

◆  安全保護,艙門打開,,自動關閉電源,。


CIF實驗室型等離子清洗機技術參數(shù):

型號

CPC-G

CPC-Gplus

射頻電源

40KHz

13.56MHz

射頻功率

0-600W

0-150W

匹配器

自動匹配

激發(fā)方式

電容式

氣體控制

單路 MFC(可選兩路)

艙體尺寸

H100xΦ269mm

艙體容積

5.6L

艙體材質(zhì)

石英玻璃

有效處理尺寸

Φ269mm 圓盤

時間設定

9999 秒

真空泵

抽速 4m3/h

氣體穩(wěn)定時間

1 分鐘

真空度

100pa 以內(nèi)

 

AC220V 50/60Hz  752/302W

產(chǎn)品尺寸

L425xW480xH445mm

包裝尺寸

L550xW630xH700mm

整機重量

30kg



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