目錄:華儀行(北京)科技有限公司>>CIF材料表面處理儀器>>CIF等離子清洗機>> CPC-G/PlusCIF實驗室型等離子清洗機
產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 應用領域 | 環(huán)保,地礦,能源,交通 |
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產(chǎn)品特點:
◆ 7 寸彩色觸摸屏中英文互動操作界面,自動控制監(jiān)測工藝參數(shù)狀態(tài),,20 個配方程序,,工藝數(shù)據(jù)可存儲追溯。
◆ PLC 工控機控制整個清洗過程,,手動,、自動兩種工作模式。
◆ 石英真空艙,,真空管路系統(tǒng)采用 316 不銹鋼材質(zhì),,耐腐蝕無污染。
◆ 采用質(zhì)量流量計,,實現(xiàn)對氣體輸入精準控制,,改變傳統(tǒng)浮子流量計控制氣體流量不準確問題。
◆ HEPA 高效過濾,,氣體返填吹掃,,防止二次污染。
◆ 60 度傾角操作界面設計,,符合人體功能學,,操作方便,界面友好,。
◆ 頂置真空艙,,上開蓋設計,下壓式鉸鏈開關方式,開關蓋方便,。
◆ CIF實驗室型等離子清洗機采用花灑式多孔進氣方式,,改變傳統(tǒng)等離子清洗機單孔進氣不均勻問題。
◆ 上置式 360 度自由水平取放樣品托盤設計,,符合人體功能學,,操作更方便。
◆ 有效清洗面積大,,可清洗最大直徑 8 吋硅片,。
◆ 安全保護,艙門打開,,自動關閉電源,。
CIF實驗室型等離子清洗機技術參數(shù):
型號 | CPC-G | CPC-Gplus |
射頻電源 | 40KHz | 13.56MHz |
射頻功率 | 0-600W | 0-150W |
匹配器 | 自動匹配 | |
激發(fā)方式 | 電容式 | |
氣體控制 | 單路 MFC(可選兩路) | |
艙體尺寸 | H100xΦ269mm | |
艙體容積 | 5.6L | |
艙體材質(zhì) | 石英玻璃 | |
有效處理尺寸 | Φ269mm 圓盤 | |
時間設定 | 9999 秒 | |
| 抽速 4m3/h | |
氣體穩(wěn)定時間 | 1 分鐘 | |
真空度 | 100pa 以內(nèi) | |
電 源 | AC220V 50/60Hz 752/302W | |
產(chǎn)品尺寸 | L425xW480xH445mm | |
包裝尺寸 | L550xW630xH700mm | |
整機重量 | 30kg |