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目錄:華儀行(北京)科技有限公司>>CIF材料表面處理儀器>>CIF勻膠機>> CIF Spin Coater勻膠機

勻膠機
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參考價 面議
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
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  • 品牌 CIF
  • 型號 CIF Spin Coater
  • 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)商
  • 所在地 北京市
屬性

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更新時間:2024-10-25 15:27:58瀏覽次數(shù):4583評價

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Spin Coater勻膠機進行滴膠就是簡單地把光刻膠滴注到靜止的基片表面的中心,,滴膠量為1-10ml不等。滴膠的多少應(yīng)根據(jù)光刻膠的粘度和基片的大小來確定,。粘度比較高和/或基片比較大,往往需要滴較多的膠,,以保證在高速旋轉(zhuǎn)階段整個基片上都涂到膠,。動態(tài)滴膠方式是在基片低速(通常在500轉(zhuǎn)/分左右)旋轉(zhuǎn)的同時進行滴膠,“動態(tài)"的作用是讓光刻膠容易在基片上鋪展開,,減少光刻膠的浪費,,采用動態(tài)滴膠不需要很多光刻膠就能潤濕(鋪展覆蓋)整個基片表面。尤其是當(dāng)光刻膠或基片本身潤濕性不好的情況下,,動態(tài)滴膠尤其適用,,不會產(chǎn)生針孔。
  CIF-Spin Coater勻膠機進行滴膠就是簡單地把光刻膠滴注到靜止的基片表面的中心,,滴膠量為1-10ml不等,。滴膠的多少應(yīng)根據(jù)光刻膠的粘度和基片的大小來確定。粘度比較高和/或基片比較大,,往往需要滴較多的膠,,以保證在高速旋轉(zhuǎn)階段整個基片上都涂到膠。動態(tài)滴膠方式是在基片低速(通常在500轉(zhuǎn)/分左右)旋轉(zhuǎn)的同時進行滴膠,,“動態(tài)”的作用是讓光刻膠容易在基片上鋪展開,,減少光刻膠的浪費,采用動態(tài)滴膠不需要很多光刻膠就能潤濕(鋪展覆蓋)整個基片表面,。尤其是當(dāng)光刻膠或基片本身潤濕性不好的情況下,,動態(tài)滴膠尤其適用,不會產(chǎn)生針孔,。
 

Spin Coater

 

  滴膠之后,,下一步是高速旋轉(zhuǎn)。使光刻膠層變薄達到要求的膜厚,,這個階段的轉(zhuǎn)速一般在1500-6000轉(zhuǎn)/分,,轉(zhuǎn)速的選定同樣要看光刻膠的性能(包括粘度,溶劑揮發(fā)速度,,固體含量以及表面張力等)以及基片的大小,。快速旋轉(zhuǎn)的時間可以從10秒到幾分鐘,。勻膠的轉(zhuǎn)速以及勻膠時間往往能決定膠膜的厚度。
  一般來說,,勻膠轉(zhuǎn)速快,,時間長,膜厚就薄,。影響勻膠過程的可變因素很多,,這些因素在勻膠時往往相互抵銷并趨于平衡。所以建議給予勻膠過程以足夠的時間,,讓諸多影響因素達到平衡,。
 
  Spin Coater勻膠機產(chǎn)品特點:
  1.采用閉環(huán)控制伺服電機,,數(shù)字式增速信號反饋,速勻準(zhǔn)確,,壽命長,,保證勻膠均勻。
  2.5寸全彩觸摸屏,,智能程序化可編程操控顯示,,標(biāo)配10個勻膠梯度階段(速度和時間梯度設(shè)置),可選配10個可編程程序,,每個程序下可設(shè)置10個勻膠梯度階段,,多100個階段。
  3.內(nèi)置水平校準(zhǔn)裝置,,大限度的保證旋涂均勻,,可對大小不同規(guī)格的基片進行旋涂。
  4,、多重安全保護
  電磁安全開關(guān),,蓋子打開卡盤停止,保證安全,;蓋子自鎖功能,,防止飛片蓋彈開傷人;雙重安全上蓋,,聚四氟嵌鑲鋼化玻璃,,避免單一玻璃或者亞克力上蓋飛片傷人,大限度保證實驗人員安全,。
  5.一機兩用,,根據(jù)不同樣品可選真空吸盤和非真空卡盤兩種旋涂模式。
  6.不銹鋼噴塑涂層旋涂殼體,,PTFE旋涂腔體,,聚丙烯(NPP-H)旋涂托盤,PTFE嵌鑲鋼化玻璃上蓋,,耐酸堿防腐蝕,,保證儀器在苛刻條件下仍能正常運行。
  7.勻膠機適用硅片,、玻璃,、石英、金屬,、GaAs,,GaN,InP 等多種材料。
 
  CIF-Spin Coater勻膠機技術(shù)參數(shù):
 

型號

轉(zhuǎn)速(轉(zhuǎn)/分)

轉(zhuǎn)速穩(wěn)定度

勻膠時間

旋涂基片尺寸mm

外型尺寸(LxWxH)mm

SC1

50-10000

±1%

0-2000S

圓片Φ5-Φ100,方片大100x100

310x260x250

 

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