美國仙童MEMS傳感器的應(yīng)用
1.應(yīng)用于醫(yī)療
仙童MEMS傳感器應(yīng)用于無創(chuàng)胎心檢測,，檢測胎兒心率是一項(xiàng)技術(shù)性很強(qiáng)的工作,，由于胎兒心率很快，在每分鐘l20～160次之間，用傳統(tǒng)的聽診器甚至只有放大作用的超聲多普勒儀,，用人工計(jì)數(shù)很難測量準(zhǔn)確,。而具有數(shù)字顯示功能的超聲多普勒胎心監(jiān)護(hù)儀，價(jià)格昂貴,，僅為少數(shù)大醫(yī)院使用,，在中、小型醫(yī)院及廣大的農(nóng)村地區(qū)無法普及,。此外,，超聲振動(dòng)波作用于胎兒，會對胎兒產(chǎn)生很大的不利作用盡管檢測劑量很低,，也屬于有損探測范疇,，不適于經(jīng)常性、重復(fù)性的檢查及家庭使用,。
基于VTI公司的仙童MEMS加速度傳感器,，提出一種無創(chuàng)胎心檢測方法,，研制出一種簡單易學(xué),、直觀準(zhǔn)確的介于胎心聽診器和多普勒胎兒監(jiān)護(hù)儀之間的臨床診斷和孕婦自檢的醫(yī)療輔助儀器。
通過加速度傳感器將胎兒心率轉(zhuǎn)換成模擬電壓信號,，經(jīng)前置放大用的儀器放大器實(shí)現(xiàn)差值放大,。然后進(jìn)行濾波等一系列中間信號處理，用A/D轉(zhuǎn)換器將模擬電壓信號轉(zhuǎn)換成數(shù)字信號,。通過光隔離器件輸入到單片機(jī)進(jìn)行分析處理,，zui后輸出處理結(jié)果。
基于仙童MEMS加速度傳感器設(shè)計(jì)的胎兒心率檢測儀在適當(dāng)改進(jìn)后能夠以此為終端,，做一個(gè)遠(yuǎn)程胎心監(jiān)護(hù)系統(tǒng),。醫(yī)院端的中央信號采集分析監(jiān)護(hù)主機(jī)給出自動(dòng)分析結(jié)果，醫(yī)生對該結(jié)果進(jìn)行診斷,，如果有問題及時(shí)通知孕婦到醫(yī)院來,。該技術(shù)有利于孕婦隨時(shí)檢查胎兒的狀況，有利于胎兒和孕婦的健康,。
美國仙童MEMS傳感器*
2.應(yīng)用在汽車電子
仙童MEMS壓力傳感器主要應(yīng)用在測量氣囊壓力,、燃油壓力、發(fā)動(dòng)機(jī)機(jī)油壓力,、進(jìn)氣管道壓力及輪胎壓力,。這種傳感器用單晶硅作材料，以采用仙童MEMS技術(shù)在材料中間制作成力敏膜片,，然后在膜片上擴(kuò)散雜質(zhì)形成四只應(yīng)變電阻,，再以惠斯頓電橋方式將應(yīng)變電阻連接成電路，來獲得高靈敏度。車用仙童MEMS壓力傳感器有電容式,、壓阻式,、差動(dòng)變壓器式、聲表面波式等幾種常見的形式,。而仙童MEMS加速度計(jì)的原理是基于牛頓的經(jīng)典力學(xué)定律,，通常由懸掛系統(tǒng)和檢測質(zhì)量組成，通過微硅質(zhì)量塊的偏移實(shí)現(xiàn)對加速度的檢測,，主要用于汽車安全氣囊系統(tǒng),、防滑系統(tǒng)、汽車導(dǎo)航系統(tǒng)和防盜系統(tǒng)等,，除了有電容式,、壓阻式以外，仙童MEMS加速度計(jì)還有壓電式,、隧道電流型,、諧振式和熱電偶式等形式。其中,，電容式仙童MEMS加速度計(jì)具有靈敏度高,、受溫度影響極小等特點(diǎn)，是仙童MEMS微加速度計(jì)中的主流產(chǎn)品,。微陀螺儀是一種角速率傳感器,，主要用于汽車導(dǎo)航的GPS信號補(bǔ)償和汽車底盤控制系統(tǒng)，主要有振動(dòng)式,、轉(zhuǎn)子式等幾種,。應(yīng)用zui多的屬于振動(dòng)陀螺儀，它利用單晶硅或多晶硅的振動(dòng)質(zhì)量塊在被基座帶動(dòng)旋轉(zhuǎn)時(shí)產(chǎn)生的哥氏效應(yīng)來感測角速度,。例如汽車在轉(zhuǎn)彎時(shí),，系統(tǒng)通過陀螺儀測量角速度來指示方向盤的轉(zhuǎn)動(dòng)是否到位，主動(dòng)在內(nèi)側(cè)或者外側(cè)車輪上加上適當(dāng)?shù)闹苿?dòng)以防止汽車脫離車道,，通常,，它與低加速度計(jì)一起構(gòu)成主動(dòng)控制系統(tǒng)。
3.應(yīng)用于運(yùn)動(dòng)追蹤系統(tǒng)
在運(yùn)動(dòng)員的日常訓(xùn)練中,，仙童MEMS傳感器可以用來進(jìn)行3D人體運(yùn)動(dòng)測量,，對每一個(gè)動(dòng)作進(jìn)行記錄，教練們對結(jié)果分析,，反復(fù)比較,，以便提高運(yùn)動(dòng)員的成績。隨著仙童MEMS技術(shù)的進(jìn)一步發(fā)展,，仙童MEMS傳感器的價(jià)格也會隨著降低,，這在大眾健身房中也可以廣泛應(yīng)用,。
在滑雪方面，3D運(yùn)動(dòng)追蹤中的壓力傳感器,、加速度傳感器,、陀螺儀以及GPS可以讓使用者獲得極精確的觀察能力，除了可提供滑雪板的移動(dòng)數(shù)據(jù)外,，還可以記錄使用者的位置和距離,。在沖浪方面也是如此，安裝在沖浪板上的3D運(yùn)動(dòng)追蹤,，可以記錄海浪高度,、速度、沖浪時(shí)間,、漿板距離,、水溫以及消耗的熱量等信息。
美國仙童MEMS傳感器*
4.應(yīng)有在手機(jī)拍照領(lǐng)域
在仙童MEMS Drive出現(xiàn)之前,，手機(jī)攝像頭主要由音圈馬達(dá)移動(dòng)鏡頭組的方式實(shí)現(xiàn)防抖(簡稱鏡頭防抖技術(shù)),，受到很大的局限。而另一個(gè)在市場上較的防抖技術(shù)：多軸防抖,，則是利用移動(dòng)圖像傳感器(Image Sensor)補(bǔ)償抖動(dòng),，但由于這個(gè)技術(shù)體積龐大、耗電量超出手機(jī)載荷,，一直無法在手機(jī)上應(yīng)用,。
憑著微機(jī)電在體積和功耗上的突破,，技術(shù)仙童MEMS Drive類似一張貼在圖像傳感器背面的平面馬達(dá),，帶動(dòng)圖像傳感器在三個(gè)旋轉(zhuǎn)軸移動(dòng)。仙童MEMS Drive 的防抖技術(shù)是透過陀螺儀感知拍照過程中的瞬間抖動(dòng),，依靠精密算法,，計(jì)算出馬達(dá)應(yīng)做的移動(dòng)幅度并做出快速補(bǔ)償。這一系列動(dòng)作都要在百分之一秒內(nèi)做完,，你得到的圖像才不會因?yàn)槎秳?dòng)模糊掉,。
手機(jī)拍照帶給我們隨時(shí)隨地的便捷，但是面對復(fù)雜的環(huán)境,、多樣的拍照場景,，人手拍照有無法避免的抖動(dòng)，像是走著跑著躺著拍照,，或者把手伸長,、手握自拍桿自拍，無論哪種抖動(dòng),，憑借仙童MEMS DRIVE馬達(dá)*的三軸防抖,，和快速、精準(zhǔn)控制的技術(shù)優(yōu)勢，都能呈現(xiàn)出更清晰更銳麗的圖片,。
分類
仙童MEMS氣體流量傳感器：高精度,，檢測流量范圍廣，適用于各種需求的流量計(jì)測,。
仙童MEMS壓力傳感器：性能偏差小的仙童MEMS壓力傳感器,。
仙童MEMS非接觸溫度傳感器：對靜止人體也能檢測，高靈敏度的人體感應(yīng)傳感器,。
仙童MEMS開關(guān)：高頻,，小型，長壽命的仙童MEMS開關(guān),。