【簡(jiǎn)單介紹】
采用了四探針雙電測(cè)組合（亦稱雙位組合）測(cè)量新技術(shù),將范德堡測(cè)量方法推廣應(yīng)用到直線四探針上,利用電流探針,、電壓探針的變換,，在計(jì)算機(jī)控制下進(jìn)行兩次電測(cè)量,，能自動(dòng)消除樣品幾何尺寸,、邊界效應(yīng)以及探針不等距和機(jī)械游移等因素對(duì)測(cè)量結(jié)果的影響,。因而每次測(cè)量不必知道探針間距,、樣品尺寸及探針在樣品表面上的位置,。由于每次測(cè)量都是對(duì)幾何因素的影響進(jìn)行動(dòng)態(tài)的自動(dòng)修正,，因此顯著降低了幾何因素影響,，從而提高了測(cè)量結(jié)果的準(zhǔn)確度
四探針測(cè)試儀采用了四探針雙電測(cè)組合(亦稱雙位組合)測(cè)量新技術(shù),將范德堡測(cè)量方法推廣應(yīng)用到直線四探針上,利用電流探針、電壓探針的變換,，在計(jì)算機(jī)控制下進(jìn)行兩次電測(cè)量,，能自動(dòng)消除樣品幾何尺寸、邊界效應(yīng)以及探針不等距和機(jī)械游移等因素對(duì)測(cè)量結(jié)果的影響,。因而每次測(cè)量不必知道探針間距,、樣品尺寸及探針在樣品表面上的位置。由于每次測(cè)量都是對(duì)幾何因素的影響進(jìn)行動(dòng)態(tài)的自動(dòng)修正,，因此顯著降低了幾何因素影響,，從而提高了測(cè)量結(jié)果的準(zhǔn)確度。所有這些,，用目前大量使用的常規(guī)四探針測(cè)量方法所生產(chǎn)的儀器是無(wú)法實(shí)現(xiàn)的,。是一個(gè)運(yùn)行在計(jì)算機(jī)上擁有友好測(cè)試界面的用戶程序。測(cè)試程序在計(jì)算機(jī)與RTS-9型四探針測(cè)試儀連接的狀態(tài)下,，通過(guò)計(jì)算機(jī)的并口實(shí)現(xiàn)通訊,。
測(cè)試程序控制四探針測(cè)試儀進(jìn)行測(cè)量并實(shí)時(shí)采集兩次組合模式下的測(cè)試數(shù)據(jù)，把采集到的數(shù)據(jù)在計(jì)算機(jī)中加以分析,，然后把測(cè)試數(shù)據(jù)以表格,，圖形直觀地記錄,、顯示出來(lái)。用戶可對(duì)采集到的數(shù)據(jù)在電腦中保存或者打印以備日后參考和查看,，還可以把采集到的數(shù)據(jù)輸出到Excel中,，讓用戶對(duì)數(shù)據(jù)進(jìn)行各種數(shù)據(jù)分析。
四探針測(cè)試儀技術(shù)指標(biāo)：測(cè)量范圍電阻率：10-5～105Ω.cm(可擴(kuò)展),；
方塊電阻：10-4～106Ω/□(可擴(kuò)展),；
電導(dǎo)率：10-5～105s/cm；
電阻：10-5～105Ω,；可測(cè)晶片厚度≤3mm可測(cè)晶片直徑140mmX150mm(配S-2A型測(cè)試臺(tái)),；200mmX200mm(配S-2B型測(cè)試臺(tái))；400mmX500mm(配S-2C型測(cè)試臺(tái)),；
恒流源電流量程分為1μA,、10μA、100μA,、1mA,、10mA、100mA六檔,，各檔電流連續(xù)可調(diào)數(shù)字電壓表量程及表示形式：000.00～199.99mV,；
分辨力：10μV；輸入阻抗：>1000MΩ,；精度：±0.1%,；顯示：四位半紅色發(fā)光管數(shù)字顯示；極性,、超量程自動(dòng)顯示,；
四探針探頭基本指標(biāo)間距：1±0.01mm；針間絕緣電阻：≥1000MΩ,；機(jī)械游移率：≤0.3%,；探針：碳化鎢或高速鋼Ф0.5mm；探針壓力：5～16牛頓(總力),；
四探針探頭應(yīng)用參數(shù)(見(jiàn)探頭附帶的合格證)模擬電阻測(cè)量相對(duì)誤差(按JJG508-87進(jìn)行)0.01Ω,、0.1Ω、1Ω,、10Ω,、100Ω、1000Ω,、10000Ω≤0.3%±1字整機(jī)測(cè)量大相對(duì)誤差(用硅標(biāo)樣片：0.01-180Ω.cm測(cè)試)≤±4%整機(jī)測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)不確定度≤4%測(cè)試標(biāo)準(zhǔn)采用雙電測(cè)測(cè)試標(biāo)準(zhǔn),，通過(guò)RTS-9雙電測(cè)測(cè)試軟件控制四探針測(cè)試儀進(jìn)行測(cè)量并實(shí)時(shí)采集兩次組合模式下的電壓值，然后根據(jù)雙電測(cè)測(cè)試原理公式計(jì)算出電阻值。
四探針測(cè)試儀主機(jī)也可兼容RTS-8四探針測(cè)試軟件實(shí)現(xiàn)單電測(cè)測(cè)試標(biāo)準(zhǔn),，兩套軟件可同時(shí)使用,。軟件功能軟件可記錄、保存,、打印每一點(diǎn)的測(cè)試數(shù)據(jù),，并統(tǒng)計(jì)分析測(cè)試數(shù)據(jù)大值、小值,、平均值,、大百分變化、平均百分變化,、徑向不均勻度、并將數(shù)據(jù)生成直方圖,，也可把測(cè)試數(shù)據(jù)輸出到Excel中,，對(duì)數(shù)據(jù)進(jìn)行各種數(shù)據(jù)分析。軟件還可選擇自動(dòng)測(cè)量功能,，根據(jù)樣品電阻大小自動(dòng)選擇適合電流量程檔測(cè)試,。計(jì)算機(jī)通訊接口并口，高速并行采集數(shù)據(jù),。標(biāo)準(zhǔn)使用環(huán)境溫度：23±2℃,；相對(duì)濕度：≤65%；無(wú)高頻干擾,；無(wú)強(qiáng)光直射,；
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