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北京中科博達(dá)儀器科技有限公司
主營產(chǎn)品： 北京紫外光老化試驗(yàn)箱,小型紫外光老化試驗(yàn)箱 |
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BD/HMDS-6210HMDS預(yù)處理真空烘箱
| 參考價(jià) | 面議 |
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
- 型號(hào) BD/HMDS-6210
- 品牌 中科博達(dá)
- 廠商性質(zhì) 其他
- 所在地 北京市
更新時(shí)間：2024-12-12 17:06:26瀏覽次數(shù)：4055
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【簡單介紹】
HMDS預(yù)處理真空烘箱主要用于半導(dǎo)體行業(yè)，HMDS預(yù)處理系統(tǒng)通過對(duì)烘箱HMDS預(yù)處理過程的工作溫度,、處理時(shí)間,、處理時(shí)保持時(shí)間等參數(shù)可以在硅片、基片表面均勻涂布一層HMDS,，降低了HMDS處理后的硅片接觸角,，降低了光刻膠的用量，提高光刻膠與硅片的黏附性,。
| 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 加熱方式 | PID |
|---|---|---|---|
| 價(jià)格區(qū)間 | 15萬-20萬 | 內(nèi)膽材質(zhì) | 316L |
| 內(nèi)膽尺寸 | 560×640×600cm | 外形尺寸 | 560×640×600mm |
| 溫度波動(dòng) | ±1℃℃ | 溫度范圍 | RT+10～250℃ ℃ |
| 儀器種類 | 真空烘箱 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工,電子 |
HMDS預(yù)處理真空烘箱
產(chǎn)品用途:該產(chǎn)品主要用于半導(dǎo)體行業(yè),，HMDS預(yù)處理系統(tǒng)通過對(duì)烘箱HMDS預(yù)處理過程的工作溫度、處理時(shí)間,、處理時(shí)保持時(shí)間等參數(shù)可以在硅片,、基片表面均勻涂布一層HMDS，降低了HMDS處理后的硅片接觸角,，降低了光刻膠的用量,，提高光刻膠與硅片的黏附性。
型號(hào)：BD/HMDS-6090內(nèi)形尺寸：450×450×450
型號(hào)：BD/HMDS-6210內(nèi)形尺寸：560×640×600
二,、技術(shù)參數(shù)：
1、控溫范圍：RT+10～250℃
2,、溫度分辨率：0.1℃
3,、溫度波動(dòng)度：±1℃
4、達(dá)到真空度：小于133Pa
5,、真空度：100Pa～100000Pa
6,、定時(shí)范圍：1～9999min
7、工作室材料：316L
8,、樣品架：2塊,、3塊
9,、真空泵：4L/S
10、電源電壓：220V/50Hz,、380V/50Hz三相五線制
11,、總功率：3000W、4500W
三,、產(chǎn)品特點(diǎn)：
1,、外殼采用冷軋鋼板制造，表面靜電噴塑,。內(nèi)膽,、樣品機(jī)、連接管路均采用優(yōu)質(zhì)不銹鋼316L材料制成,；加熱器均勻分布在內(nèi)膽外壁四周,，內(nèi)膽內(nèi)無任何電氣配件及易燃易爆裝置。鋼化,、防彈雙層玻璃門觀察工作室內(nèi)物體一目了然,。
2、箱門閉合松緊能調(diào)節(jié),，整體成型的硅橡膠門封圈,，確保箱內(nèi)高真空度。
3,、HMDS氣體密閉式自動(dòng)吸取添加設(shè)計(jì),，真空箱密封性能佳，確保HMDS氣體無外漏顧慮,。
四,、HMDS預(yù)處理系統(tǒng)操作流程：
1、首先確定烘箱工作溫度,；
2,、預(yù)處理程序?yàn)椋捍蜷_真空泵抽真空，待腔內(nèi)真牢度達(dá)到某一高真空度后,，開始充入氮?dú)?，充到達(dá)到某低真空度后，再次進(jìn)行抽真空,、充入氮?dú)獾倪^程,，到達(dá)設(shè)定的充入氮?dú)獯螖?shù)后，開始保持一段時(shí)間,，使硅片充分受熱,，減少硅片表面的水分;
3、再次開始抽真空，充入HMDS氣體,，在到達(dá)設(shè)定時(shí)間后,，停止充入HMDS藥液，進(jìn)入保持階段,，使硅片充分與HMDS反應(yīng);
4,、當(dāng)達(dá)到設(shè)定的保持時(shí)間后，再次開始抽真空,。充入氮?dú)?，完成整個(gè)作業(yè)過程。
五,、控制系統(tǒng)：
1、7.0英寸維綸彩色觸摸屏,，三菱PLC控制器,；
2、富士微電腦雙數(shù)顯溫度PID控制器,，控溫精que可靠,；
六、保護(hù)系統(tǒng)：
1,、漏電保護(hù),；
2、超溫保護(hù),；
3,、缺液保護(hù)；
七,、設(shè)備使用條件：
1,、環(huán)境溫度：5℃～＋28℃（24小時(shí)內(nèi)平均溫度≤28℃）
2、環(huán)境濕度：≤85%R.H
3,、操作環(huán)境需要室內(nèi)通風(fēng)良好,機(jī)器放置前后左右各80公分不可放置東西;
八,、HMDS預(yù)處理真空烘箱服務(wù)承諾：
保修十八個(gè)月，免費(fèi)送貨上門,在對(duì)該設(shè)備安裝調(diào)試結(jié)束后,在用戶現(xiàn)場對(duì)相關(guān)技術(shù)人員免費(fèi)做相應(yīng)的操作培訓(xùn),人數(shù)不限
北京中科博達(dá)儀器有限公司產(chǎn)品系列:高溫試驗(yàn)箱,、低溫試驗(yàn)箱,、恒溫恒濕試驗(yàn)箱、低溫恒溫試驗(yàn)箱,、高低溫試驗(yàn)箱,、交變高低溫試驗(yàn)箱、高低溫濕熱試驗(yàn)箱,、交變高低溫濕熱試驗(yàn)箱,、鹽霧腐蝕試驗(yàn)箱、二氧化硫試驗(yàn)箱、鼓風(fēng)干燥箱,、高溫烘箱,、真空干燥箱、溫度沖擊試驗(yàn)箱,、紫外光老化試驗(yàn)箱,、氙弧燈耐氣候試驗(yàn)箱、臭氧老化試驗(yàn)箱,、換氣老化試驗(yàn)箱,、沙塵試驗(yàn)箱、淋雨試驗(yàn)箱,、擺管淋雨試驗(yàn)設(shè)備,、滴水試驗(yàn)設(shè)備、振動(dòng)臺(tái),、振動(dòng)試驗(yàn)機(jī),、二氧化碳培養(yǎng)箱、霉菌培養(yǎng)箱,、熱空氣消毒箱,、低溫培養(yǎng)箱、藥品穩(wěn)定試驗(yàn)箱,、防銹油脂試驗(yàn)箱,、大型鹽霧試驗(yàn)室、大型低溫恒溫試驗(yàn)室,、大型高低溫檢測試驗(yàn)室,。
產(chǎn)品用途:該產(chǎn)品主要用于半導(dǎo)體行業(yè),，HMDS預(yù)處理系統(tǒng)通過對(duì)烘箱HMDS預(yù)處理過程的工作溫度、處理時(shí)間,、處理時(shí)保持時(shí)間等參數(shù)可以在硅片,、基片表面均勻涂布一層HMDS，降低了HMDS處理后的硅片接觸角,，降低了光刻膠的用量,，提高光刻膠與硅片的黏附性。
型號(hào)：BD/HMDS-6090內(nèi)形尺寸：450×450×450
型號(hào)：BD/HMDS-6210內(nèi)形尺寸：560×640×600
二,、技術(shù)參數(shù)：
1、控溫范圍：RT+10～250℃
2,、溫度分辨率：0.1℃
3,、溫度波動(dòng)度：±1℃
4、達(dá)到真空度：小于133Pa
5,、真空度：100Pa～100000Pa
6,、定時(shí)范圍：1～9999min
7、工作室材料：316L
8,、樣品架：2塊,、3塊
9,、真空泵：4L/S
10、電源電壓：220V/50Hz,、380V/50Hz三相五線制
11,、總功率：3000W、4500W
三,、產(chǎn)品特點(diǎn)：
1,、外殼采用冷軋鋼板制造，表面靜電噴塑,。內(nèi)膽,、樣品機(jī)、連接管路均采用優(yōu)質(zhì)不銹鋼316L材料制成,；加熱器均勻分布在內(nèi)膽外壁四周,，內(nèi)膽內(nèi)無任何電氣配件及易燃易爆裝置。鋼化,、防彈雙層玻璃門觀察工作室內(nèi)物體一目了然,。
2、箱門閉合松緊能調(diào)節(jié),，整體成型的硅橡膠門封圈,，確保箱內(nèi)高真空度。
3,、HMDS氣體密閉式自動(dòng)吸取添加設(shè)計(jì),，真空箱密封性能佳，確保HMDS氣體無外漏顧慮,。
四,、HMDS預(yù)處理系統(tǒng)操作流程：
1、首先確定烘箱工作溫度,；
2,、預(yù)處理程序?yàn)椋捍蜷_真空泵抽真空，待腔內(nèi)真牢度達(dá)到某一高真空度后,，開始充入氮?dú)?，充到達(dá)到某低真空度后，再次進(jìn)行抽真空,、充入氮?dú)獾倪^程,，到達(dá)設(shè)定的充入氮?dú)獯螖?shù)后，開始保持一段時(shí)間,，使硅片充分受熱,，減少硅片表面的水分;
3、再次開始抽真空，充入HMDS氣體,，在到達(dá)設(shè)定時(shí)間后,，停止充入HMDS藥液，進(jìn)入保持階段,，使硅片充分與HMDS反應(yīng);
4,、當(dāng)達(dá)到設(shè)定的保持時(shí)間后，再次開始抽真空,。充入氮?dú)?，完成整個(gè)作業(yè)過程。
五,、控制系統(tǒng)：
1、7.0英寸維綸彩色觸摸屏,，三菱PLC控制器,；
2、富士微電腦雙數(shù)顯溫度PID控制器,，控溫精que可靠,；
六、保護(hù)系統(tǒng)：
1,、漏電保護(hù),；
2、超溫保護(hù),；
3,、缺液保護(hù)；
七,、設(shè)備使用條件：
1,、環(huán)境溫度：5℃～＋28℃（24小時(shí)內(nèi)平均溫度≤28℃）
2、環(huán)境濕度：≤85%R.H
3,、操作環(huán)境需要室內(nèi)通風(fēng)良好,機(jī)器放置前后左右各80公分不可放置東西;
八,、HMDS預(yù)處理真空烘箱服務(wù)承諾：
保修十八個(gè)月，免費(fèi)送貨上門,在對(duì)該設(shè)備安裝調(diào)試結(jié)束后,在用戶現(xiàn)場對(duì)相關(guān)技術(shù)人員免費(fèi)做相應(yīng)的操作培訓(xùn),人數(shù)不限
北京中科博達(dá)儀器有限公司產(chǎn)品系列:高溫試驗(yàn)箱,、低溫試驗(yàn)箱,、恒溫恒濕試驗(yàn)箱、低溫恒溫試驗(yàn)箱,、高低溫試驗(yàn)箱,、交變高低溫試驗(yàn)箱、高低溫濕熱試驗(yàn)箱,、交變高低溫濕熱試驗(yàn)箱,、鹽霧腐蝕試驗(yàn)箱、二氧化硫試驗(yàn)箱、鼓風(fēng)干燥箱,、高溫烘箱,、真空干燥箱、溫度沖擊試驗(yàn)箱,、紫外光老化試驗(yàn)箱,、氙弧燈耐氣候試驗(yàn)箱、臭氧老化試驗(yàn)箱,、換氣老化試驗(yàn)箱,、沙塵試驗(yàn)箱、淋雨試驗(yàn)箱,、擺管淋雨試驗(yàn)設(shè)備,、滴水試驗(yàn)設(shè)備、振動(dòng)臺(tái),、振動(dòng)試驗(yàn)機(jī),、二氧化碳培養(yǎng)箱、霉菌培養(yǎng)箱,、熱空氣消毒箱,、低溫培養(yǎng)箱、藥品穩(wěn)定試驗(yàn)箱,、防銹油脂試驗(yàn)箱,、大型鹽霧試驗(yàn)室、大型低溫恒溫試驗(yàn)室,、大型高低溫檢測試驗(yàn)室,。
