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北京中科博達(dá)儀器科技有限公司
主營(yíng)產(chǎn)品： 北京紫外光老化試驗(yàn)箱,小型紫外光老化試驗(yàn)箱 |
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BD/HMDS-6090HMDS涂膠烘箱(真空)
| 參考價(jià) | 面議 |
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
- 型號(hào) BD/HMDS-6090
- 品牌 中科博達(dá)
- 廠商性質(zhì) 其他
- 所在地 北京市
更新時(shí)間：2025-03-18 12:10:23瀏覽次數(shù)：6404
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一,、HMDS真空涂膠烘箱規(guī)格：
型號(hào)：BD/HMDS-6090內(nèi)形尺寸：450×450×450
型號(hào)：BD/HMDS-6210內(nèi)形尺寸：560×640×600
1、控溫范圍：RT+10～250℃
2、溫度分辨率：0.1℃
3,、溫度波動(dòng)度：±1℃
4,、達(dá)到真空度：小于133Pa
5、真空度：100Pa～100000Pa
6,、定時(shí)范圍：1～9999min
7,、工作室材料：316L
8、樣品架：2塊,、3塊
9,、真空泵：4L/S
10、電源電壓：220V/50Hz,、380V/50Hz三相五線制
11,、總功率：3000W、4500W
三,、產(chǎn)品特點(diǎn)：
1,、外殼采用冷軋鋼板制造，表面靜電噴塑,。內(nèi)膽、樣品機(jī),、連接管路均采用優(yōu)質(zhì)不銹鋼316L材料制成,；加熱器均勻分布在內(nèi)膽外壁四周，內(nèi)膽內(nèi)無任何電氣配件及易燃易爆裝置,。鋼化,、防dan雙層玻璃門觀察工作室內(nèi)物體一目了然。
2,、箱門閉合松緊能調(diào)節(jié),，整體成型的硅橡膠門封圈，確保箱內(nèi)高真空度,。
3,、HMDS氣體密閉式自動(dòng)吸取添加設(shè)計(jì)，真空箱密封性能佳,，確保HMDS氣體無外漏顧慮,。
四、HMDS預(yù)處理系統(tǒng)操作流程：
1,、首先確定烘箱工作溫度,；
2、預(yù)處理程序?yàn)椋捍蜷_真空泵抽真空,，待腔內(nèi)真牢度達(dá)到某一高真空度后,，開始充入氮?dú)猓涞竭_(dá)到某低真空度后，再次進(jìn)行抽真空,、充入氮?dú)獾倪^程,，到達(dá)設(shè)定的充入氮?dú)獯螖?shù)后，開始保持一段時(shí)間,，使硅片充分受熱,，減少硅片表面的水分;
3、再次開始抽真空,，充入HMDS氣體,，在到達(dá)設(shè)定時(shí)間后，停止充入HMDS藥液,，進(jìn)入保持階段,，使硅片充分與HMDS反應(yīng);
4、當(dāng)達(dá)到設(shè)定的保持時(shí)間后,，再次開始抽真空,。充入氮?dú)猓瓿烧麄€(gè)作業(yè)過程,。
五,、控制系統(tǒng)：
1、7.0英寸維綸彩色觸摸屏,，三菱PLC控制器,；
2、富士微電腦雙數(shù)顯溫度PID控制器,，控溫精確可靠,；
六、保護(hù)系統(tǒng)：
1,、漏電保護(hù),；
2、超溫保護(hù),；
3,、缺液保護(hù)；
七,、設(shè)備使用條件：
1,、環(huán)境溫度：5℃～＋28℃（24小時(shí)內(nèi)平均溫度≤28℃）
2、環(huán)境濕度：≤85%R.H
3,、操作環(huán)境需要室內(nèi)通風(fēng)良好,機(jī)器放置前后左右各80公分不可放置東西;
八,、HMDS真空涂膠烘箱服務(wù)承諾：
保修十八個(gè)月，免費(fèi)送貨上門,在對(duì)該設(shè)備安裝調(diào)試結(jié)束后,在用戶現(xiàn)場(chǎng)對(duì)相關(guān)技術(shù)人員免費(fèi)做相應(yīng)的操作培訓(xùn),人數(shù)不限,。
型號(hào)：BD/HMDS-6090內(nèi)形尺寸：450×450×450
型號(hào)：BD/HMDS-6210內(nèi)形尺寸：560×640×600
1、控溫范圍：RT+10～250℃
2、溫度分辨率：0.1℃
3,、溫度波動(dòng)度：±1℃
4,、達(dá)到真空度：小于133Pa
5、真空度：100Pa～100000Pa
6,、定時(shí)范圍：1～9999min
7,、工作室材料：316L
8、樣品架：2塊,、3塊
9,、真空泵：4L/S
10、電源電壓：220V/50Hz,、380V/50Hz三相五線制
11,、總功率：3000W、4500W
三,、產(chǎn)品特點(diǎn)：
1,、外殼采用冷軋鋼板制造，表面靜電噴塑,。內(nèi)膽、樣品機(jī),、連接管路均采用優(yōu)質(zhì)不銹鋼316L材料制成,；加熱器均勻分布在內(nèi)膽外壁四周，內(nèi)膽內(nèi)無任何電氣配件及易燃易爆裝置,。鋼化,、防dan雙層玻璃門觀察工作室內(nèi)物體一目了然。
2,、箱門閉合松緊能調(diào)節(jié),，整體成型的硅橡膠門封圈，確保箱內(nèi)高真空度,。
3,、HMDS氣體密閉式自動(dòng)吸取添加設(shè)計(jì)，真空箱密封性能佳,，確保HMDS氣體無外漏顧慮,。
四、HMDS預(yù)處理系統(tǒng)操作流程：
1,、首先確定烘箱工作溫度,；
2、預(yù)處理程序?yàn)椋捍蜷_真空泵抽真空,，待腔內(nèi)真牢度達(dá)到某一高真空度后,，開始充入氮?dú)猓涞竭_(dá)到某低真空度后，再次進(jìn)行抽真空,、充入氮?dú)獾倪^程,，到達(dá)設(shè)定的充入氮?dú)獯螖?shù)后，開始保持一段時(shí)間,，使硅片充分受熱,，減少硅片表面的水分;
3、再次開始抽真空,，充入HMDS氣體,，在到達(dá)設(shè)定時(shí)間后，停止充入HMDS藥液,，進(jìn)入保持階段,，使硅片充分與HMDS反應(yīng);
4、當(dāng)達(dá)到設(shè)定的保持時(shí)間后,，再次開始抽真空,。充入氮?dú)猓瓿烧麄€(gè)作業(yè)過程,。
五,、控制系統(tǒng)：
1、7.0英寸維綸彩色觸摸屏,，三菱PLC控制器,；
2、富士微電腦雙數(shù)顯溫度PID控制器,，控溫精確可靠,；
六、保護(hù)系統(tǒng)：
1,、漏電保護(hù),；
2、超溫保護(hù),；
3,、缺液保護(hù)；
七,、設(shè)備使用條件：
1,、環(huán)境溫度：5℃～＋28℃（24小時(shí)內(nèi)平均溫度≤28℃）
2、環(huán)境濕度：≤85%R.H
3,、操作環(huán)境需要室內(nèi)通風(fēng)良好,機(jī)器放置前后左右各80公分不可放置東西;
八,、HMDS真空涂膠烘箱服務(wù)承諾：
保修十八個(gè)月，免費(fèi)送貨上門,在對(duì)該設(shè)備安裝調(diào)試結(jié)束后,在用戶現(xiàn)場(chǎng)對(duì)相關(guān)技術(shù)人員免費(fèi)做相應(yīng)的操作培訓(xùn),人數(shù)不限,。
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