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更新時(shí)間：2024-12-17 13:32:53瀏覽次數(shù)：1763評(píng)價(jià)
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| 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工 |
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SFE-35型超臨界二氧化碳超聲清洗系統(tǒng)
一、概述：
超臨界二氧化碳無損傷清洗設(shè)備,。應(yīng)用此設(shè)備對(duì)硅片進(jìn)行清洗的顆粒明顯減少,，且平均粒徑小于傳統(tǒng)清洗的粒徑。相對(duì)用等離子法清洗,，該方法不會(huì)對(duì)硅片造成損傷,，同時(shí)可減少工藝步驟，節(jié)省時(shí)間,，提高工作效率,。
超臨界二氧化碳無損傷清洗設(shè)備擁有良好的溫度和壓力控制系統(tǒng)，并配有遠(yuǎn)程智能化操作系統(tǒng),，是一個(gè)適合高校和科研機(jī)構(gòu)的半導(dǎo)體工藝平臺(tái),。該設(shè)備有望解決微電子行業(yè)清洗工藝中的許多難題，例如刻蝕以及灰化后高縱深比結(jié)構(gòu)清洗,、刻蝕以及灰化后多孔低介電材料清洗,、清洗后干燥、半導(dǎo)體器件金屬顆粒的清洗等
超臨界超聲清洗目前應(yīng)用領(lǐng)域很廣的是核電特種清洗,、電子電路芯片的清洗以及精密機(jī)加工件的表面和層隙清洗,。
二、應(yīng)用范圍：
在半導(dǎo)體方面,，超臨界二氧化碳清洗逐步代替刻蝕及灰化后產(chǎn)生的高縱深比機(jī)構(gòu)和成品芯片上的輔焊劑、金屬殘屑采用傳統(tǒng)的去離子水沖洗、酸蝕浸泡清洗,、清洗劑清洗,；
在新能源電動(dòng)汽車制造方面，超臨界二氧化碳清洗正被應(yīng)用于對(duì)車輪轂層析片微隙間的清洗油污,、微粒作業(yè),；
在精密工件以及鈾屑方面，超臨界二氧化碳清洗的優(yōu)勢得到很大的發(fā)揮,，其具有的清洗物分離簡單,，收集方便，表面無需處理,、環(huán)保節(jié)能被發(fā)揮得*,；
三、SFE-35型超臨界二氧化碳超聲清洗系統(tǒng)主要技術(shù)參數(shù)：
主 要 性 能 指 標(biāo) | 序號(hào) | 項(xiàng)目名稱 | 性能參數(shù) |
1 | 工作壓力 | ≤40MPa | |
2 | 工作溫度 | 室溫～90℃ | |
3 | 超聲波清洗釜 | 35L/40MPa | |
4 | 清洗工裝 | 懸盤結(jié)構(gòu) 60-120r/min | |
5 | 超聲波功率 | 2×1kW | |
6 | 清洗釜 | 35L/40MPa | |
7 | 清洗工裝 | 層式彈性結(jié)構(gòu) 1-8層 | |
8 | 回收釜 | 2×10L/30MPa | |
9 | 制冷系統(tǒng) | 12000kcal/h 溫控范圍：-5℃～﹢5℃ 風(fēng)冷 | |
| 二氧化碳儲(chǔ)罐 | 20L/16MPa | |
| 二氧化碳泵 | 400L/h 40MPa 三柱塞變頻可調(diào) 泵頭帶冷卻 | |
| 助溶劑泵 | 4L/h 50MPa 雙柱塞機(jī)械調(diào)節(jié) | |
| 自動(dòng)化系統(tǒng) | 液壓伺服控制,，實(shí)現(xiàn)自動(dòng)與手動(dòng)切換 | |
| 電源 | AC380V 50Hz 三相五線 30kW |
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