目錄:南通儀創(chuàng)實驗儀器有限公司>>超臨界二氧化碳清洗系列>> SFE-1型超臨界二氧化碳清洗系統(tǒng)
| 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 應用領域 | 化工 |
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SFE-1型超臨界二氧化碳清洗系統(tǒng)
一,、概述：
超臨界二氧化碳無損傷清洗設備。應用此設備對硅片進行清洗的顆粒明顯減少,，且平均粒徑小于傳統(tǒng)清洗的粒徑,。相對用等離子法清洗，該方法不會對硅片造成損傷,，同時可減少工藝步驟,，節(jié)省時間，提高工作效率,。
超臨界二氧化碳無損傷清洗設備擁有良好的溫度和壓力控制系統(tǒng),，并配有遠程智能化操作系統(tǒng)，是一個適合高校和科研機構(gòu)的半導體工藝平臺,。該設備有望解決微電子行業(yè)清洗工藝中的許多難題,，例如刻蝕以及灰化后高縱深比結(jié)構(gòu)清洗、刻蝕以及灰化后多孔低介電材料清洗,、清洗后干燥,、半導體器件金屬顆粒的清洗等
超臨界超聲清洗目前應用領域很廣的是核電特種清洗、電子電路芯片的清洗以及精密機加工件的表面和層隙清洗,。
二,、應用范圍：
在半導體方面，超臨界二氧化碳清洗逐步代替刻蝕及灰化后產(chǎn)生的高縱深比機構(gòu)和成品芯片上的輔焊劑,、金屬殘屑采用傳統(tǒng)的去離子水沖洗,、酸蝕浸泡清洗、清洗劑清洗,；
在新能源電動汽車制造方面,，超臨界二氧化碳清洗正被應用于對車輪轂層析片微隙間的清洗油污、微粒作業(yè),；
在精密工件以及鈾屑方面,，超臨界二氧化碳清洗的優(yōu)勢得到很大的發(fā)揮，其具有的清洗物分離簡單,，收集方便,，表面無需處理、環(huán)保節(jié)能被發(fā)揮得*,；
三,、SFE-1型超臨界二氧化碳清洗系統(tǒng)主要技術參數(shù)：
主 要 性 能 指 標 | 序號 | 項目名稱 | 性能參數(shù) |
1 | 工作壓力 | ≤50MPa | |
2 | 工作溫度 | 室溫～90℃ | |
3 | 清洗釜 | 1L/35MPa | |
4 | 清洗工裝 | 塔式鎖緊結(jié)構(gòu) 2-24片 | |
5 | 回收釜 | 2×0.6L/30MPa | |
6 | 制冷系統(tǒng) | 4470kcal/h 溫控范圍：-5℃～﹢5℃ 風冷 | |
7 | 二氧化碳儲罐 | 2L/16MPa | |
8 | 二氧化碳泵 | 50L/h 50MPa 三柱塞變頻可調(diào) | |
9 | 電源 | AC380V 50Hz 三相五線 9kW | |
設備優(yōu)勢 | 1,、清洗工裝采用塔式結(jié)構(gòu)，并設置均布系統(tǒng),，保證每片樣品都與高速清洗流體接觸,； | ||
※注：清洗釜體結(jié)構(gòu)以及工裝結(jié)構(gòu)均以實際樣品為依據(jù)設計、配置,。 | |||
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