ALICAT CVD行業(yè)專用真空控制器 53系列可快速達到真空設定值并保持該設定值,，即使遇到不穩(wěn)定的供給壓力或者不斷變化的溫度,，亦如此,。我們將利用您提供的參數(shù)為您定制閥門和 PID 調(diào)節(jié)功能,，確保您的真空控制器能實現(xiàn)快速,、穩(wěn)定的控制,。
在流動氣體專用真空控制器中,，53系列真空控制器可快速達到真空設定值并保持該設定值，即使遇到不穩(wěn)定的供給壓力或者不斷變化的溫度,，亦如此,。我們將利用您提供的參數(shù)為您定制閥門和 PID 調(diào)節(jié)功能，確保您的真空控制器能實現(xiàn)快速,、穩(wěn)定的控制,。
ALICAT CVD行業(yè)專用真空控制器 53系列應用及案例
●人造鉆石MPCVD設備
●半導體各種CVD鍍膜設備
ALICAT CVD行業(yè)專用真空控制器 53系列產(chǎn)品特色
● 快速、準確的閥門和PID控制算法確保在數(shù)毫秒內(nèi)極其快速地達到真空設定值,，且具有NIST可溯源精度,。
● 默認背壓控制選項。53系列真空控制器下游閥門的選項,，可使您的真空產(chǎn)品成為背壓控制器,。該選項與絕壓壓力傳感器配合時尤其能取得事半功倍的效果，后端真空泵如何變化,，均可將您的過程系統(tǒng)保持在一定的準確真空度,。
● 針對CVD行業(yè)特殊設計的結構,，VCR 接頭與底座一體式加工，結構更加緊湊,，泄漏率可達10-9 atm·cc/sec He,，更好的滿足客戶需求。
技術指標
性 能
滿量程 | 300-1000mbarA(該范圍內(nèi)任意標定) |
精度 | ± 0.25%滿量程 |
高 精 度 | ± 0.125%滿量程 |
重 復 性 | ± 0.08%滿量程 |
零點&滿量程溫度漂移 | 0.02%滿量程/℃（從校準溫度開始） |
量程可控比（穩(wěn)態(tài)） | 0.5% ~ 100% 滿量程 |
控制響應時間 | 優(yōu)于30 ms（與流量和閥門尺寸有關,，用戶可調(diào)） |
顯示響應時間 | ＜10ms |
閥門功能 | 常閉型 |
工作濕度 | 0-95%,，無冷凝 |
泄漏率（外漏） | 10-9 atm·cc/sec He |
預熱時間 | < 1 s |
操作條件
兼容氣體 | 兼容所有非腐蝕性氣體 |
工作溫度 | -10 ~ 60 ℃（可選高溫選項） |
傳感器極限壓力 | 3 × 滿量程 |
位置敏感性 | 無 |
閥門狀態(tài) | 常閉 |
防護等級 | IP40 |
接液材質(zhì) | 302,303,304，430FR不銹鋼,，F(xiàn)KM（默認,，可選EPDM或FFKM），陶瓷,，玻璃,，金，銅,，環(huán)氧樹脂,，硅橡膠，聚酰胺,，硅,，玻璃增強聚苯硫醚 |
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通訊/電源
帶背光燈按鍵，單色 LCD或彩色TFT顯示器 | 顯示壓力和設定點 |
數(shù)字通信選項 | 默認RS – 232/ Modbus RTU,；可選RS – 485/Modbus RTU,、DeviceNet、EtherCAT,、EtherNet/IP,、Modbus TCP/IP、PROFIBUS等 |
模擬信號選項 | 默認0 - 5 VDC,；可選4-20mA,、1 - 5 VDC、0 - 10 VDC |
模擬信號刷新頻率 | 1000Hz |
顯示刷新頻率 | 10Hz |
數(shù)字信號刷新頻率 | 40Hz@19200BAUD |
模擬信號精度 | 標準精度額外增加±0.1%滿量程誤差 |
電氣接口 | 默認DB9M,；可選 DB15,、6針鎖定、8針mini-DIN,、M12等 |
供電電壓 | 12 - 24 VDC |
供電電流 | 250m A（+40mA,對于4-20mA） |
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尺寸連接
尺 寸(mm)1 | 112.51 H ×112.85 W × 26.67 D |
連 接2 | 1/4" VCRM |
注1,、默認閥門為PCV閥門，其他閥門尺寸見具體圖紙,； |
尺寸詳圖
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