ALICAT 氣體質(zhì)量流量控制器-雙向型 22系列采用內(nèi)部補償型層流壓差技術(shù)，使得大流量范圍下氣體仍舊保持層流運動,。內(nèi)置的絕壓和溫度傳感器充分補償因壓力和溫度引起的體積流量與質(zhì)量流量間的差異,，并對用戶標準工況進行修正,。
美國ALICAT 22系列雙向型質(zhì)量流量控制器，采用內(nèi)部補償型層流壓差技術(shù),，使得大流量范圍下氣體仍舊保持層流運動,。內(nèi)置的絕壓和溫度傳感器充分補償因壓力和溫度引起的體積流量與質(zhì)量流量間的差異，并對用戶標準工況進行修正,。22系列雙向型質(zhì)量流量控制器可通過定制化的高速比例調(diào)節(jié)閥,，正向或反向精確測量與控制過程氣體的質(zhì)量流量、體積流量和壓力,。采用雙閥門設(shè)計模式,，一臺閥門專門用于控制進氣、另一臺用于排氣,，實現(xiàn)了僅用一臺設(shè)備便可同時控制開放式或密閉容器內(nèi)上游,、下游端流量，以及正壓,、背壓,。
ALICAT 氣體質(zhì)量流量控制器-雙向型 22系列應(yīng)用及案例
● 大學/研究所
● 環(huán)境監(jiān)測
● 真空行業(yè)及鍍膜
● 工業(yè)爐窯
● 半導(dǎo)體
● 汽車制造
● 光伏
● 燃料電池
● 計量校準
● 過程工藝氣體測量
ALICAT 氣體質(zhì)量流量控制器-雙向型 22系列產(chǎn)品特色
● 數(shù)字化產(chǎn)品，雙向流量控制
● 多參數(shù)顯示和輸出：溫度,、壓力,、流量等
● 多參數(shù)控制:體積流量、質(zhì)量流量和壓力
● 標配三種控制方式：數(shù)字,、模擬和本地面板
● 可選高精度：可優(yōu)于0.5%
● 高量程比 200：1
● 響應(yīng)時間快 僅需100 ms（可調(diào)）
● 內(nèi)置98種氣體
● 可現(xiàn)場標定混合氣體（最多5種成分）,，并存儲20種混合氣
技術(shù)指標
介質(zhì)要求：非腐蝕性、潔凈,、干燥的氣體
介質(zhì)種類：內(nèi)置了98種氣體,，請參考“產(chǎn)品資料下載"氣體兼容表
一臺設(shè)備內(nèi)置所有氣體，用戶可現(xiàn)場選擇
量程：從-0.5SCCM～0.5SCCM 到-3000SLPM～3000SLPM
量程比：200:1
最大顯示流量：-100%FS～100%FS
顯示屏：帶按鍵，標準為LCD顯示屏,，可選TFT彩色顯示屏
顯示方式：同時顯示質(zhì)量流量,、體積流量、壓力,、溫度
精度：± (0.8%RD+0.2%FS),，RD-讀數(shù) FS-雙向滿量程
高精度：±(0.4%RD + 0.2%FS)，選配
僅適用于量程為5SCCM-500SLPM的設(shè)備
重復(fù)性：± 0.2% FS
零點漂移&滿量程漂移：0.02% FS / ?C / Atm
響應(yīng)時間：100ms(可調(diào)) 預(yù)熱時間：<1s
標定工況：25?C & 100kPa 絕壓,、20?C & 100kPa 絕壓,、0?C & 100kPa 絕壓 (三種工況現(xiàn)場可切換)
工作溫度：-10 ～ +50 ?C
工作濕度：0-100%,無冷凝
標準最大工作壓力：1MPa 表壓
標準極限耐壓：1.2MPa 表壓
中壓選項：2MPa
數(shù)字輸入/輸出信號：RS232或RS485或Modbus或Profibus*
模擬輸入/輸出信號：0-5Vdc或1-5Vdc或0-10Vdc或4-20mA
可選第二路模擬輸出：質(zhì)量流量或體積流量或壓力或溫度
供電電壓：7-30 Vdc (如選4-20 mA輸出，須為15-30 Vdc)
供電電流：250mA ～ 750mA
電氣接口：8針Mini-DIN或DB9或DB15或6針工業(yè)接頭
材質(zhì)：302不銹鋼,、Viton,、硅膠RTV、玻璃增強尼龍,、鋁,、黃銅、 430FR 不銹鋼,、 硅,、 玻璃
安裝方式：對位置無要求 防護等級：IP40
* 如選Profibus，則無模擬信號,，無顯示,，其供電電壓及供電電流需咨詢我們
氣體編碼
* 混合氣體編碼為“800"，選項中須有具體混合氣體比例說明,。
* 對于液體流量計和控制器,，液體指純水，液體編碼為“900",。
* ALICAT非抗腐蝕流量計/控制器產(chǎn)品,，可支持①類氣體。
* ALICAT抗腐蝕流量控制器產(chǎn)品,，可支持①,、②類氣體。
* ALICAT抗腐蝕流量計產(chǎn)品,，可支持①,、②、③類氣體,。
* 未在表中列出的氣體,，也可能被測控，具體請咨詢我們,。
化工儀器網(wǎng)