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目錄:愛發(fā)科費恩斯（南京）儀器有限公司>>質(zhì)譜儀>>二次離子質(zhì)譜儀>> PHI ADEPT 1010動態(tài)二次離子質(zhì)譜儀

動態(tài)二次離子質(zhì)譜儀
  • 動態(tài)二次離子質(zhì)譜儀
參考價 面議
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
參考價 面議
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 品牌 其他品牌
  • 型號 PHI ADEPT 1010
  • 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)商
  • 所在地 北京市
屬性

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更新時間：2022-03-07 17:24:34瀏覽次數(shù)：2300評價

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應(yīng)用領(lǐng)域 化工,電子/電池,綜合
動態(tài)二次離子質(zhì)譜儀（D-SIMS）是使用一次離子束（通常是Cs源）轟擊樣品表面，而產(chǎn)生二次離子，然后用質(zhì)譜分析儀分析二次離子的質(zhì)荷比（m/q），從而得知元素在樣品中的深度分布，是分析半導(dǎo)體摻雜和離子注入的強有力的工具,。

優(yōu)勢

ULVAC-PHI 最新設(shè)計的四極桿-二次離子質(zhì)譜儀ADPT1010，在原有的PHI6300和PHI6600的基礎(chǔ)上，改善了離子光學(xué)系統(tǒng),，是在一次離子能量低至250eV時，仍保持有效的濺射束流的動態(tài)二次離子質(zhì)譜系統(tǒng)（D-SIMS）,。

 

特點

  1. 大束流低能量離子槍設(shè)計,，極大的提高了深度分辨率

  2. 高性能離子光學(xué)系統(tǒng)，改善了二次離子傳輸效率,，在提高分析效率的同時又提高了檢測靈敏度

  3. 高精度全自動5軸樣品操控臺

  4. 不同方向進入檢測器的二次離子,，均可被高靈敏地收集檢測

 

應(yīng)用實例分析

采用一次離子源Cs在加速5kV束流為100nA的條件下,，分析GaAs中注入的H，C,，O元素,。可以看到H檢測限值7.1X1016 atm/cm3,，O檢測限值4.4X1015 atm/cm3,，C檢測限值2.0X1015 atm/cm3。

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