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目錄:上海明策電子科技有限公司>>測(cè)溫儀>>半導(dǎo)體&薄膜測(cè)溫>> Sekidenko OR4000E半導(dǎo)體薄膜高溫計(jì)

Sekidenko OR4000E半導(dǎo)體薄膜高溫計(jì)
  • Sekidenko OR4000E半導(dǎo)體薄膜高溫計(jì)
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參考價(jià) 面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
參考價(jià) 面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 品牌 Advanced Energy/優(yōu)儀
  • 型號(hào)
  • 廠商性質(zhì) 代理商
  • 所在地 上海市
屬性

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更新時(shí)間:2025-01-14 10:40:33瀏覽次數(shù):901評(píng)價(jià)

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Sekidenko OR4000E半導(dǎo)體薄膜高溫計(jì)能夠自動(dòng)探測(cè)測(cè)量材料發(fā)射率,,可用于RTP,、HDP-CVD,、MOCVDUV固化和其它各種半導(dǎo)體工藝過程,。OR4000E型具有類似OR4000T的高速性能,并且兼具實(shí)時(shí)輻射率補(bǔ)償?shù)膬?yōu)點(diǎn),。其采用塊化設(shè)計(jì),,可快速量身定制,滿足不同的的工藝應(yīng)用要求,。

主要特性

優(yōu)點(diǎn):


  • 提高可重復(fù)性并顯著減小誤差

  • 提高生產(chǎn)率,、產(chǎn)量和生產(chǎn)能力

  • 提高多個(gè)腔室和基材的穩(wěn)定性和可靠性


特點(diǎn):

  • ·主動(dòng)輻射率檢測(cè)和補(bǔ)償

  • 溫度和輻射率讀取速率快

  • ·模塊化的結(jié)構(gòu)具有高靈活性

  • ·全套I/O和外部觸發(fā)器/同步組件


技術(shù)參數(shù):

概述:實(shí)時(shí),雙通道,,在測(cè)量過程中能實(shí)時(shí)測(cè)量材料發(fā)射系數(shù)并糾正,,補(bǔ)償測(cè)量溫度,測(cè)量速度高達(dá)2kHz
通道配置:1-2通道,,透過脈沖發(fā)射器實(shí)時(shí)糾正發(fā)射系數(shù),,每個(gè)通道可單獨(dú)配置
測(cè)溫范圍:50-3500°C
實(shí)時(shí)發(fā)射系數(shù)范圍:0.03 至 1.0
測(cè)量波長(zhǎng):UV to 2300 nm
讀取速率:高達(dá)2kHz,在實(shí)時(shí)發(fā)射系數(shù)自糾正溫度測(cè)量模式下可達(dá)500Hz
測(cè)量精度:±1.5℃
重復(fù)精度:±0.1℃℃,,正常情況下
分辨率:0.001°C
顯示:內(nèi)置,,4x20LCD屏,帶鍵盤輸入
數(shù)據(jù)I/O:RS-232,RS-422/485,and Etherne
模擬輸出:t0-10V或4-20mA
控制接口:外部觸發(fā)輸入,,同步輸出,,高低報(bào)警
電源:交流:90 to 263 VAC, 47 to 63 Hz直流:24V DC
環(huán)境參數(shù):5-40℃,非冷凝
物理尺寸:8.6 cm (H)x15.2 cm ()x 21.8 cm(D)
重量:2.0kg
安裝:底部M3 X0.75螺孔
采樣響應(yīng)時(shí)間:2kHz采樣速率時(shí)<2ms




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