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目錄:上海明策電子科技有限公司>>測溫儀>>半導(dǎo)體&薄膜測溫>> Sekidenko OR4000T 半導(dǎo)體高溫計

Sekidenko OR4000T 半導(dǎo)體高溫計
  • Sekidenko OR4000T 半導(dǎo)體高溫計
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參考價 面議
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
參考價 面議
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 品牌 Advanced Energy/優(yōu)儀
  • 型號
  • 廠商性質(zhì) 代理商
  • 所在地 上海市
屬性

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更新時間:2025-01-14 10:38:53瀏覽次數(shù):931評價

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Sekidenko OR4000T 半導(dǎo)體高溫計可用于RTP、HDP-CVD,、MOCVD、UV固化和其它各種半導(dǎo)體工藝過程,,應(yīng)用于半導(dǎo)體硅片,外延,,晶圓鍍膜等各種工藝的高精度測溫;OR4000T型具備多通道能力,,支持高達(dá)2kHz的讀取速率,符合半導(dǎo)體應(yīng)用中極為嚴(yán)格的要求,。

其采用模塊化設(shè)計,,可快速量身定制。

主要特性

優(yōu)點(diǎn):

  • 提高可重復(fù)性并顯著減小誤差提高生產(chǎn)率,、產(chǎn)量和生產(chǎn)能力

  • ·提高多個腔室和基材的穩(wěn)定性和可靠性


特點(diǎn):

  • ·主動輻射率檢測和補(bǔ)償

  • 溫度和輻射率讀取速率快

  • ·模塊化的結(jié)構(gòu)具有高靈活性

  • ·全套I/O和外部觸發(fā)器/同步組件


技術(shù)參數(shù):

概述:多通道,,高性能,測量速度高達(dá)2kHz
通道配置:1-4通道,,帶可選/固定發(fā)射系數(shù),,每個通道可單獨(dú)配置
測溫范圍:50-3500°C
實(shí)時發(fā)射系數(shù)范圍:
測量波長:UV to 2300 nm
讀取速率:高達(dá)2kHz
測量精度:±1.5℃
重復(fù)精度:±0.1℃℃,正常情況下
分辨率:0.001℃C
顯示:帶鍵盤輸入內(nèi)置,,4x21LCD屏,,
數(shù)據(jù)I/O:RS-232,RS-422/486, and Ethernet
模擬輸出:0-10V或4-21mA
控制接口:外部觸發(fā)輸入,同步輸出,,高低報警
電源:交流:90 to 263 VAC, 47 to 63 Hz直流:24V DC
環(huán)境參數(shù):5-40℃,,非冷凝
物理尺寸:8.6 cm (H)x 15.2 cm (W) x 21.8 cm (D)
重量:2.0kg
安裝:底部M3X0.75螺孔
采樣響應(yīng)時間:2kHz采樣速率時<2ms




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