FT-351高溫四探針電阻率測(cè)試系統(tǒng)

一,、概述：

采用由四探針雙電測(cè)量方法測(cè)試方阻和電阻率系統(tǒng)與高溫試驗(yàn)箱結(jié)合配置的高溫測(cè)試探針治具,，滿足半導(dǎo)體材料因溫度變化對(duì)電阻值變化的測(cè)量要求，通過良好的測(cè)控軟件可以顯示出溫度與電阻,，電阻率,，電導(dǎo)率數(shù)據(jù)的變化曲線，是檢驗(yàn)和分析導(dǎo)體材料和半導(dǎo)體材料質(zhì)量的一種重要的工具,。

二,、適用行業(yè)：

廣泛用于：生產(chǎn)企業(yè)、高等院校,、科研部門對(duì)導(dǎo)電陶瓷,、硅、鍺單晶（棒料,、晶片）電阻率,、測(cè)定硅外延層、擴(kuò)散層和離子注入層的方塊電阻以及測(cè)量導(dǎo)電玻璃（ITO）和其它導(dǎo)電薄膜的方塊電阻,、電阻率和電導(dǎo)率數(shù)據(jù).

三,、高溫四探針電阻率測(cè)試儀功能介紹：

液晶顯示，無需人工計(jì)算,，并帶有溫度補(bǔ)償功能,，電阻率單位自動(dòng)選擇，儀器自動(dòng)測(cè)量并根據(jù)測(cè)試結(jié)果自動(dòng)轉(zhuǎn)換量程,，無需人工多次和重復(fù)設(shè)置,。采用高精度AD芯片控制，恒流輸出,，結(jié)構(gòu)合理,、質(zhì)量輕便，運(yùn)輸安全,、使用方便,；配備軟件可以由電腦操控，并保存和打印數(shù)據(jù),，自動(dòng)生成報(bào)表,；

本儀器采用4.3吋大液晶屏幕顯示，同時(shí)顯示液晶顯示：電阻,、電阻率,、方阻、溫度,、單位換算,、溫度系數(shù)、電流,、電壓,、探針形狀、探針間距,、厚度 ,、電導(dǎo)率，配置不同的測(cè)試治具可以滿足不同材料的測(cè)試要求,。

測(cè)試治具可以根據(jù)產(chǎn)品及測(cè)試項(xiàng)目要求選購(gòu).

雙電測(cè)數(shù)字式四探針測(cè)試儀是運(yùn)用直線或方形四探針雙位測(cè)量,。該儀器設(shè)計(jì)符合單晶硅物理測(cè)試方法標(biāo)準(zhǔn)并參考美國(guó) A.S.T.M 標(biāo)準(zhǔn)。

利用電流探針,、電壓探針的變換,，進(jìn)行兩次電測(cè)量，對(duì)數(shù)據(jù)進(jìn)行雙電測(cè)分析,，自動(dòng)消除樣品幾何尺寸,、邊界效應(yīng)以及探針不等距和機(jī)械游移等因素對(duì)測(cè)量結(jié)果的影響,，

它與單電測(cè)直線或方形四探針相比，大大提高度,，特別是適用于斜置式四探針對(duì)于微區(qū)的測(cè)試,。

四、高溫四探針電阻率測(cè)試儀技術(shù)參數(shù)資料

1.方塊電阻范圍：10^-5～2×10⁵Ω/□

2.電阻率范圍：10^-6×10⁶cm

3.測(cè)試電流范圍：0.1μA ,，1μA,，10μA，100µA,，1mA,，10mA，100 mA

4.電流精度：±0.1%讀數(shù)

5.電阻精度：≤0.3%

6.顯示讀數(shù)：液晶顯示：電阻,、電阻率,、方阻、溫度,、單位換算,、溫度系數(shù)、電流,、電壓,、探針形狀、探針間距,、厚度 ,、電導(dǎo)率

7.測(cè)試方式: 雙電測(cè)量

8.工作電源: 輸入: AC 220V±10% ,50Hz  功 耗：<30W

9.整機(jī)不確定性誤差: ≤4%（標(biāo)準(zhǔn)樣片結(jié)果）

10. zui高溫度： 1200℃可調(diào)節(jié)；沖溫值：≤1-3℃,；控溫精度：±1°C

11,、升溫速度：9999分鐘以內(nèi)自由設(shè)定,一般10分鐘內(nèi)即可升到900℃；功率：3kw.

12,、爐膛材料：采用復(fù)合陶瓷纖維材料,，具有真空成型，高溫不掉粉的特征,。

13.測(cè)試PC軟件一套,，USB通訊接口，軟件界面同步顯示,、分析,、保存和打印數(shù)據(jù)！

14.選購(gòu)：電腦和打印機(jī)

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ROOKO/瑞柯品牌，來自瑞柯儀器公司,，一個(gè)專注于改變?nèi)藗兩罘绞胶推焚|(zhì)的企業(yè).

專業(yè)與精致并重,；與智慧之原