涂層雙電測(cè)電四探針?lè)阶桦娮杪蕼y(cè)試儀

雙電測(cè)數(shù)字式四探針測(cè)試儀是運(yùn)用直線或方形四探針雙位測(cè)量,。該儀器設(shè)計(jì)符合單晶硅物理測(cè)試方法標(biāo)準(zhǔn)并參考美國(guó) A.S.T.M 標(biāo)準(zhǔn),。利用電流探針、電壓探針的變換,，進(jìn)行兩次電測(cè)量,，對(duì)數(shù)據(jù)進(jìn)行雙電測(cè)分析，自動(dòng)消除樣品幾何尺寸,、邊界效應(yīng)以及探針不等距和機(jī)械游移等因素對(duì)測(cè)量結(jié)果的影響,，它與單電測(cè)直線或方形四探針相比，大大提高度,，特別是適用于斜置式四探針對(duì)于微區(qū)

涂層雙電測(cè)電四探針?lè)阶桦娮杪蕼y(cè)試儀

1.方塊電阻范圍：10^-4～2×10³Ω/□

2.電阻率范圍：10^-5～2×10⁴Ω-cm

3.測(cè)試電流范圍：10μA,，100μA，1mA,，10mA,，100 mA

4.電流精度：±0.2%讀數(shù)

5.電阻精度：≤0.3%

6.顯示讀數(shù)：液晶顯示：電阻、電阻率,、方阻,、溫度、單位換算,、溫度系數(shù),、電流、電壓,、探針形狀,、探針間距、厚度 ,、電導(dǎo)率

7.測(cè)試方式: 雙電測(cè)量

8.工作電源: 輸入: AC 220V±10% ,50Hz  功 耗：<30W

9.整機(jī)不確定性誤差: ≤4%（標(biāo)準(zhǔn)樣片結(jié)果）

10.選購(gòu)功能: 選購(gòu)1.pc軟件,； 選購(gòu)2.方形探頭； 選購(gòu)3.直線形探頭,； 選購(gòu)4.測(cè)試平臺(tái)

11.測(cè)試探頭： 探針間距選購(gòu)：1mm,；2mm；3mm三種規(guī)格; 探針材質(zhì)選購(gòu)：碳化鎢針;白鋼針,；鍍金磷銅半球形針