金屬涂層四探針方阻電阻率測試儀使用方法

雙電組合測試方法：

利用電流探針,、電壓探針的變換，進行兩次電測量,，對數(shù)據(jù)進行雙電測分析,，解決樣品幾何尺寸、邊界效應(yīng)以及探針不等距和機械游移等因素對測量結(jié)果的影響,，適用于斜置式四探針對于微區(qū)的測試,。

參照標準：

1.硅片電阻率測量的標準（ASTM F84）.

2.GB/T 1551-2009 《硅單晶電阻率測定方法》.

3.GB/T 1551-1995《硅、鍺單晶電阻率測定直流兩探針法》.

4.GB/T 1552-1995《硅,、鍺單晶電阻率測定直流四探針法》.

金屬涂層四探針方阻電阻率測試儀使用方法

功能描述Description：

• 四探針組合雙電測量方法
• 液晶顯示,，自動測量,，自動量程，自動系數(shù)補償.
• 集成電路系統(tǒng),、恒流輸出.
• 選配：PC軟件進行數(shù)據(jù)管理和處理.
• 提供中文或英文兩種語言操作界面選擇

適用范圍Widely used：

1.覆蓋膜;導(dǎo)電高分子膜,，高、低溫電熱膜;隔熱,、導(dǎo)電窗膜 導(dǎo)電(屏蔽)布,、裝飾膜、裝飾紙;金屬化標簽,、合金類箔膜;熔煉,、燒結(jié)、濺射,、涂覆,、涂布層，電阻式,、電容式觸屏薄膜;電極涂料,，其他半導(dǎo)體材料、薄膜材料方阻測試

2.硅晶塊,、晶片電阻率及擴散層,、外延層、ITO導(dǎo)電箔膜,、導(dǎo)電橡膠等材料方塊電阻  半導(dǎo)體材料/晶圓,、太陽能電池、電子元器件,，導(dǎo)電薄膜（ITO導(dǎo)電膜玻璃等）,，金屬膜，導(dǎo)電漆膜,，蒸發(fā)鋁膜,，PCB銅箔膜，

3.EMI涂層等物質(zhì)的薄層電阻與電阻率  導(dǎo)電性油漆,，導(dǎo)電性糊狀物,，導(dǎo)電性塑料，導(dǎo)電性橡膠,，導(dǎo)電性薄膜,，金屬薄膜，

4.抗靜電材料,， EMI 防護材料,，導(dǎo)電性纖維，導(dǎo)電性陶瓷等