小型蒸鍍儀標(biāo)準(zhǔn)操作步驟

小型蒸鍍儀是一款小型真空鍍膜儀,，特別適合蒸鍍一些輕金屬,，如Al.Mg,和Li等,。同時也可對樣品進(jìn)行鍍碳處理，zui大可處理的樣品直徑為50mm,。

　　小型蒸鍍儀的使用可分為4步,，即蒸鍍前準(zhǔn)備工作、蒸鍍儀的預(yù)熱,、蒸鍍薄膜以及關(guān)機.

　　1,、蒸鍍前準(zhǔn)備工作：

　　1.1）開充氣閥,，對鐘罩內(nèi)充氣，再升鐘罩,；

　　1.2）根據(jù)鐘罩內(nèi)是否清潔,，先使用酒精清洗鐘罩內(nèi)的零部件；

　　1.3）安裝鉬舟,，并將鋁絲條放入鉬舟中,，并將所要沉積的襯底粘附于鋁板上；

　　1.4）降鐘罩,，在鐘罩下降的同時要觀察是否存在物品及雜物存在于鐘罩內(nèi),。

　　2、蒸鍍儀的預(yù)熱：

　　2.1）開機械泵,，抽鐘罩，接通低真空測量,，直至鐘罩內(nèi)真空度降低到5Pa以下,；

　　2.2）調(diào)節(jié)螺絲至10-20帕之間，此時可以對蒸鍍襯底材料進(jìn)行轟擊處理,，若不需要轟擊,，則直接進(jìn)入下一步驟。轟擊時間根據(jù)需要自己控制,，主要為了處理沉積襯底表面,。轟擊完畢，把轟擊轉(zhuǎn)盤調(diào)零,，再將表盤的“轟擊"檔轉(zhuǎn)為“關(guān)"檔,；

　　2.3）將低閥推到抽系統(tǒng)位置，待壓強低于5Pa后,，開擴散泵,，預(yù)熱40分鐘。

　　3,、蒸鍍薄膜：

　　3.1）在預(yù)熱完畢后,，開高閥，約40-60秒后,，接通高真空測量(開燈絲),，低真空測量換到擴散泵前級測量，當(dāng)真空度達(dá)到2-3×10-3,，滿足蒸鍍真空要求,；

　　3.2）開“工件旋轉(zhuǎn)"檔，根據(jù)需要調(diào)節(jié)“工件旋轉(zhuǎn)"的速度（接觸調(diào)壓器值20-30）,；

　　3.3）開通烘烤,，調(diào)節(jié)好所需的溫度,，根據(jù)實際需要設(shè)置烘烤時間。如果無需烘烤,，則可進(jìn)入下一步進(jìn)行蒸鍍實驗,；

　　3.4）選好所放電極的位置，接通“蒸發(fā)"檔,，將一顆“銅扭"插入對應(yīng)的電極位置,，開始增大電流（180A左右）進(jìn)行溶解蒸鍍的材料，當(dāng)發(fā)現(xiàn)已經(jīng)熔解,，將擋板擋住蒸發(fā)源,。待*熔解后，打開擋板,，讓材料蒸鍍到襯底表面,；

　　3.5）蒸鍍完畢后，各檔歸零,。關(guān)高真空測量,，關(guān)高閥，低閥拉出到“抽鐘罩"位置,，停機械泵,，待工件冷卻后，對鐘罩充氣,，升鐘罩,，取出零件，清洗鍍膜室,。

　　3.6）如需另外蒸鍍,，則重新?lián)Q襯底，電極（鉬舟）內(nèi)加料,。

　　4,、關(guān)機：

　　4.1）如果蒸鍍完畢，結(jié)束實驗時,，先關(guān)高真空測量,，關(guān)高閥，停擴散泵,，開機械泵,。待機2小時退熱后，將低閥拉出至“抽鐘罩"位置,，讓鐘罩內(nèi)保持一定的真空度,；

　　4.2）關(guān)蒸鍍儀的總開關(guān)；

　　4.3）先關(guān)“進(jìn)水"閥,，后關(guān)“出水"閥（冷卻水）,；

　　4.4）關(guān)蒸鍍儀的電源,；

　　4.5）關(guān)總電源。

　　4.6）鍍膜實驗結(jié)束后,，注意清洗各部分原件,，各種材料歸位，打掃衛(wèi)生保持實驗室的干凈,。