小型蒸鍍儀標準操作步驟

小型蒸鍍儀是一款小型真空鍍膜儀,，特別適合蒸鍍一些輕金屬,，如Al.Mg,和Li等,。同時也可對樣品進行鍍碳處理,，zui大可處理的樣品直徑為50mm,。

　　小型蒸鍍儀的使用可分為4步,，即蒸鍍前準備工作,、蒸鍍儀的預熱,、蒸鍍薄膜以及關(guān)機.

　　1,、蒸鍍前準備工作：

　　1.1）開充氣閥,，對鐘罩內(nèi)充氣,，再升鐘罩,；

　　1.2）根據(jù)鐘罩內(nèi)是否清潔,，先使用酒精清洗鐘罩內(nèi)的零部件,；

　　1.3）安裝鉬舟,，并將鋁絲條放入鉬舟中,，并將所要沉積的襯底粘附于鋁板上,；

　　1.4）降鐘罩，在鐘罩下降的同時要觀察是否存在物品及雜物存在于鐘罩內(nèi),。

　　2,、蒸鍍儀的預熱：

　　2.1）開機械泵，抽鐘罩,，接通低真空測量,，直至鐘罩內(nèi)真空度降低到5Pa以下；

　　2.2）調(diào)節(jié)螺絲至10-20帕之間,，此時可以對蒸鍍襯底材料進行轟擊處理,，若不需要轟擊，則直接進入下一步驟,。轟擊時間根據(jù)需要自己控制,，主要為了處理沉積襯底表面。轟擊完畢,，把轟擊轉(zhuǎn)盤調(diào)零,，再將表盤的“轟擊"檔轉(zhuǎn)為“關(guān)"檔；

　　2.3）將低閥推到抽系統(tǒng)位置,，待壓強低于5Pa后,，開擴散泵，預熱40分鐘,。

　　3,、蒸鍍薄膜：

　　3.1）在預熱完畢后,，開高閥,，約40-60秒后，接通高真空測量(開燈絲),，低真空測量換到擴散泵前級測量,，當真空度達到2-3×10-3，滿足蒸鍍真空要求,；

　　3.2）開“工件旋轉(zhuǎn)"檔,，根據(jù)需要調(diào)節(jié)“工件旋轉(zhuǎn)"的速度（接觸調(diào)壓器值20-30）,；

　　3.3）開通烘烤，調(diào)節(jié)好所需的溫度,，根據(jù)實際需要設(shè)置烘烤時間,。如果無需烘烤，則可進入下一步進行蒸鍍實驗,；

　　3.4）選好所放電極的位置,，接通“蒸發(fā)"檔，將一顆“銅扭"插入對應(yīng)的電極位置,，開始增大電流（180A左右）進行溶解蒸鍍的材料,，當發(fā)現(xiàn)已經(jīng)熔解，將擋板擋住蒸發(fā)源,。待*熔解后,，打開擋板，讓材料蒸鍍到襯底表面,；

　　3.5）蒸鍍完畢后,，各檔歸零。關(guān)高真空測量,，關(guān)高閥,，低閥拉出到“抽鐘罩"位置，停機械泵,，待工件冷卻后,，對鐘罩充氣，升鐘罩,，取出零件,，清洗鍍膜室。

　　3.6）如需另外蒸鍍,，則重新?lián)Q襯底,，電極（鉬舟）內(nèi)加料。

　　4,、關(guān)機：

　　4.1）如果蒸鍍完畢,，結(jié)束實驗時，先關(guān)高真空測量,，關(guān)高閥,，停擴散泵，開機械泵,。待機2小時退熱后,，將低閥拉出至“抽鐘罩"位置，讓鐘罩內(nèi)保持一定的真空度,；

　　4.2）關(guān)蒸鍍儀的總開關(guān),；

　　4.3）先關(guān)“進水"閥,，后關(guān)“出水"閥（冷卻水）；

　　4.4）關(guān)蒸鍍儀的電源,；

　　4.5）關(guān)總電源,。

　　4.6）鍍膜實驗結(jié)束后，注意清洗各部分原件,，各種材料歸位,，打掃衛(wèi)生保持實驗室的干凈。