高真空蒸發(fā)鍍膜儀應(yīng)用十分廣泛,，如今在我們的生活中到處可見,，是*的一項(xiàng)技術(shù)。由真空鍍膜室,、蒸發(fā)源,、真空機(jī)組、卡具,、蒸發(fā)電源,、控制系統(tǒng)與輔助裝置等組成。高真空蒸發(fā)鍍膜儀主要指一類需要在較高真空度下進(jìn)行的鍍膜,，具體包括很多種類,，包括真空離子蒸發(fā)，磁控濺射，MBE分子束外延,，PLD激光濺射沉積等很多種,。主要思路是分成蒸發(fā)和濺射兩種。
　　在高真空蒸發(fā)鍍膜儀的使用中,，有3大要素是需要用戶特別留意：
　　清潔
　　真空鍍膜機(jī)每完成200個鍍膜程序以上,，應(yīng)清潔工作室一次。
　　方法是：用燒堿（NaOH）飽和溶液反復(fù)擦洗真空室內(nèi)壁,，（注意人體皮膚不可以直接接觸燒堿溶液,，以免灼傷）目的是使鍍上去的膜料鋁（AL）與NaOH發(fā)生反應(yīng)，反應(yīng)后膜層脫落,，并釋放出氫氣。再用清水清洗真空室和用布沾汽油清洗精抽閥內(nèi)的污垢,。
　　更換新油
　　當(dāng)粗抽泵（滑閥泵,，旋片泵）連續(xù)工作一個月（雨季減半），需更換新油,。
　　方法是：擰開放油螺栓,，放掉舊油，再將泵啟動數(shù)秒,，使泵內(nèi)的舊油*排放出來,。擰回放油螺栓，加入新油至額定量（油視鏡觀察）,。連續(xù)使用半年以上,，換油時應(yīng)將油蓋打開，用布擦干凈箱內(nèi)污垢,。
　　清洗內(nèi)部
　　擴(kuò)散泵連續(xù)使用6個月以上,，抽速明顯變慢，或操作失當(dāng),，充入大氣,，拆去聯(lián)結(jié)水管，卸下電爐盤,，將一級噴嘴擰出,，先用汽油將泵腔及泵膽清洗一遍，再用洗衣粉兌水清洗一遍,，然后用清水*清洗干凈,，待水份揮發(fā)干以后，裝好泵膽,，加入新擴(kuò)散泵油,，并裝回機(jī)體，接好水管，裝好電爐盤,，便可以重新開機(jī),。在重新開機(jī)前，要注意檢漏工作,。
　　方法是：啟動維持泵,，關(guān)好大門，數(shù)分鐘后,，觀察擴(kuò)散泵部分真空度是否達(dá)到6X10帕,，否則要進(jìn)行檢漏。檢查聯(lián)接處是否裝密封膠圈,，或壓壞密封圈,。排除漏氣隱患后方可加熱，否則擴(kuò)散泵油會燒環(huán),，無法進(jìn)入工作狀態(tài),。