HORIBA S600氣體質(zhì)量流量控制器

 1,、概述
本產(chǎn)品為熱式質(zhì)量流量控制器，利用氣流流過(guò)毛細(xì)管,，改變毛細(xì)管溫度分布,， 造成上下游溫差方法,，而測(cè)得氣體質(zhì)量流量。不同于容積式流量計(jì),，其流量精度 不受氣體壓力,、環(huán)境溫度影響。由于上下游溫差總是實(shí)時(shí)反映氣流瞬時(shí)流量,，所 以特別適用于過(guò)程控制中的氣體流量的精密測(cè)量和控制,。
1.1 使用范圍
質(zhì)量流量控制器廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、真空鍍膜,、分析,、化工、環(huán)境等行 業(yè)的氣流測(cè)量與控制,。
1.2 質(zhì)量流量控制器和質(zhì)量流量計(jì) 質(zhì)量流量控制器(MassFlowController 縮寫(xiě)為MFC),，具備流量測(cè)量和流量控 制兩種功能。 質(zhì)量流量計(jì)(MassFlowMeter 縮寫(xiě)為MFM),，只有流量測(cè)量功能,，不具備氣流 控制功能。

  S600 質(zhì)量流量控制器的特點(diǎn)

 ☆ S600型質(zhì)量流量控制器是由日本HORIBASTEC針對(duì)中國(guó)國(guó)內(nèi)需求而研制 的一種數(shù)字式質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品,，采用32位CPU做數(shù)字控制。具有流量穩(wěn)定性 好,，精度高,、線性好、零漂小,、氣流響應(yīng)速度快,、過(guò)沖小等特點(diǎn)。

 ☆ 兩種通信協(xié)議可選,，F(xiàn)-NET 協(xié)議和ProfibusDP-V0 從站協(xié)議,。 RS485串口， F-NET 協(xié)議,。易于多臺(tái)控制器組網(wǎng),，簡(jiǎn)單易用。配合上位 機(jī),， 可進(jìn)行各種復(fù)雜的計(jì)量,、控制操作及組態(tài)。 PROFIBUSDP-V0 從站協(xié)議,。具有穩(wěn)定的標(biāo)準(zhǔn)作保證,，可同時(shí)實(shí)現(xiàn) 集中控制、分散控制和混合控制,。配合上位機(jī),，可進(jìn)行各種復(fù)雜的計(jì)量,、控制操 作及組態(tài)。

 ☆氣體流量不因溫度,、壓力的變化而變化,。氣阻較小，工作壓力范圍寬,。

 ☆閥體采用不銹鋼(316L)結(jié)構(gòu),，氣密材料采用金屬、氟橡膠等,。耐腐蝕性強(qiáng),。 線路板、傳感器,、(≤50L)密封圈,，（大于50L）、方墊片,、噴嘴等重要零部 件,，均執(zhí)行嚴(yán)格的入廠檢驗(yàn)標(biāo)準(zhǔn)。

 ☆可任意角度安裝,。 ☆兼容數(shù)字和模擬控制及顯示,，使用方便。易于與電氣或自動(dòng)控制系統(tǒng)配合,。

 ☆由日本HORIBASTEC團(tuán)隊(duì)設(shè)計(jì)開(kāi)發(fā),，關(guān)鍵零部件進(jìn)口

HORIBA S600氣體質(zhì)量流量控制器