HORIBA S600氣體質量流量控制器

 1,、概述
本產品為熱式質量流量控制器，利用氣流流過毛細管,，改變毛細管溫度分布,， 造成上下游溫差方法，而測得氣體質量流量,。不同于容積式流量計,，其流量精度 不受氣體壓力、環(huán)境溫度影響,。由于上下游溫差總是實時反映氣流瞬時流量,，所 以特別適用于過程控制中的氣體流量的精密測量和控制。
1.1 使用范圍
質量流量控制器廣泛應用于半導體制造,、真空鍍膜,、分析、化工,、環(huán)境等行 業(yè)的氣流測量與控制,。
1.2 質量流量控制器和質量流量計 質量流量控制器(MassFlowController 縮寫為MFC)，具備流量測量和流量控 制兩種功能,。 質量流量計(MassFlowMeter 縮寫為MFM),，只有流量測量功能，不具備氣流 控制功能,。

  S600 質量流量控制器的特點

 ☆ S600型質量流量控制器是由日本HORIBASTEC針對中國國內需求而研制 的一種數字式質量流量控制器產品,，采用32位CPU做數字控制。具有流量穩(wěn)定性 好,，精度高,、線性好、零漂小,、氣流響應速度快,、過沖小等特點,。

 ☆ 兩種通信協(xié)議可選，F(xiàn)-NET 協(xié)議和ProfibusDP-V0 從站協(xié)議,。 RS485串口,， F-NET 協(xié)議。易于多臺控制器組網,，簡單易用。配合上位 機,， 可進行各種復雜的計量,、控制操作及組態(tài)。 PROFIBUSDP-V0 從站協(xié)議,。具有穩(wěn)定的標準作保證,，可同時實現(xiàn) 集中控制、分散控制和混合控制,。配合上位機,，可進行各種復雜的計量、控制操 作及組態(tài),。

 ☆氣體流量不因溫度,、壓力的變化而變化。氣阻較小,，工作壓力范圍寬,。

 ☆閥體采用不銹鋼(316L)結構，氣密材料采用金屬,、氟橡膠等,。耐腐蝕性強。 線路板,、傳感器,、(≤50L)密封圈，（大于50L）,、方墊片,、噴嘴等重要零部 件，均執(zhí)行嚴格的入廠檢驗標準,。

 ☆可任意角度安裝,。 ☆兼容數字和模擬控制及顯示，使用方便,。易于與電氣或自動控制系統(tǒng)配合,。

 ☆由日本HORIBASTEC團隊設計開發(fā)，關鍵零部件進口

HORIBA S600氣體質量流量控制器