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| 產地類別 | 進口 | 產品種類 | 節(jié)流式 |
|---|---|---|---|
| 價格區(qū)間 | 1萬-3萬 | 介質分類 | 氣體 |
| 應用領域 | 醫(yī)療衛(wèi)生,化工,石油,地礦,電子 |
HORIBA STEC提供多種不同類型的氣體質量流量控制器以滿足客戶不同的需求,。所有產品都擁有高精度,、快速響應的特性。多種不同類型的氣體質量流量控制器皆擁有寬泛的流量范圍,，客戶可選擇適合的閥門類型,。HORIBA STEC SEC-Z512KX質量流量控制器
產品簡介
詳細介紹
HORIBA STEC SEC-Z512KX質量流量控制器
HORIBA STEC提供多種不同類型的氣體質量流量控制器以滿足客戶不同的需求。所有產品都擁有高精度,、快速響應的特性,。多種不同類型的氣體質量流量控制器皆擁有寬泛的流量范圍，客戶可選擇適合的閥門類型,。我們可提供三種閥門,，客戶可選擇熱式閥門、電磁線圈閥門,、或者壓電陶瓷閥,。同樣我們也可提供多種不同的通訊方式，包括模擬式,、數字式,、DeviceNet™，以及PROFIBUS™,，RS485,，cc-link，(取決于產品型號),。
HORIBA STEC使用戶自己在現(xiàn)場改變氣體種類或滿量程流量成為可能,。我們的Z500設置軟件讓隨需改規(guī)格成為可能。而且更為便利的是,，這些更改可以在不拆卸MFC的條件下完成,。這減少了用戶需要儲備的備用MFC的數量，同時也能節(jié)省時間和成本。
| 氣體種類 MR/MG 號碼 | N2 | Ar | H2 | SF6 | HBr | WF6 |
| SEC-Z51nX系列 | ||||||
| R01 | 3 – 10 | 4 – 11 | — | 1 – 3 | — | — |
| R1.5 |
|
|
|
| — | — |
| 1 | 8 – 30 | 11 – 35 | 8 – 30 | 3 – 11 | 5 – 9 | — |
| 1.5 |
|
|
|
| 9 – 17 | — |
| 2 | 25 – 100 | 35 – 110 | 25 – 100 | 9 – 36 | 15 – 28 | 5 – 6 |
| 2.5 |
|
|
|
| 25 – 50 | 6 – 11 |
| 3 | 75 – 300 | 110 – 350 | 75 – 300 | 28 – 100 | 44 – 86 | 11 – 20 |
| 3.5 |
|
|
|
| 79 – 150 | 19 – 37 |
| 4 | 250 – 1000 | 350 – 1100 | 250 – 1000 | 90 – 350 | 150 – 280 | 34 – 67 |
| 4.5 |
|
|
|
| 280 – 540 | 60 – 110 |
| 5 | 750 – 3000 | 1100 – 3500 | 750 – 3000 | 260 – 1000 | 470 – 930 | 110 – 200 |
| 5.5 |
|
|
|
| 860 – 1700 | 190 – 370 |
| 6 | 2500 – 10000 | 3500 – 11000 | 2500 – 10000 | 780 – 3100 | 1600 – 3100 | 360 – 700 |
| SEC-Z52nX系列 | ||||||
| 6.5 |
|
|
|
| — | — |
| 7 | 10000 – 30000 | 10000 – 30000 | 10000 – 30000 | — | — | — |
| 8 | 30000 – 50000 | 30000 – 50000 | 30000 – 50000 | — | — | —
|
| 質量流量控制器型號 | *1 | SEC-Z512KX | SEC-Z512MGX | SEC-Z522MGXN | SEC-Z522MGX | ||
|
|
|
| SEC-Z512X | SEC-Z522XN | SEC-Z522X | ||
| 質量流量計型號 | *1 | SEF-Z512KX | SEF-Z512MGX | SEF-Z522MGXN | SEF-Z522MGX | ||
|
|
|
| SEF-Z512X | SEF-Z522XN | SEF-Z522X | ||
|
全量程流量 （氮氣轉換流量） |
1/2SCCM | MR/MG 編號#R1.5: 17.5 SCCM #1.5: 55SCCM #2.5: 175 SCCM #3.5: 550 SCCM #4.5: 1.75SLM #5.5: 5.5SLM | #R01: 10SCCM #01: 30SCCM #02: 100 SCCM #03: 300 SCCM #04: 1 SLM #05: 3 SLM #06: 10 SLM |
MR/MG 編號#6.5: 22 SLM #07: 30 SLM #08: 50 SLM | |||
| 閥類型 | O: 全開 C: 全閉 | ||||||
| 閥全閉時流量 | ≤ 2%F.S | ||||||
| 流量控制范圍 | 2~100% F.S | ||||||
| 流量監(jiān)測范圍（SEF） | 0~100% F.S | ||||||
| 精度 | *2 | ±1.0% F.S | ±1.0% S.P. (設定流量>25%F.S.) ±0.25% F.S. (設定流量≤25%F.S.) | ||||
| 工作溫度 | 5 ~ 50°C (推薦溫度范圍: 15 ~ 45°C) | ||||||
| 響應時間 | ≤ 1 秒: 流量控制范圍 | ||||||
| 線性 | ≤±0.5%F.S | ||||||
| 重復性 | ≤±0.2%F.S | ||||||
| 工作壓差 | 50 ~ 300 kPa(d) | 50 ~ 300 kPa(d) #5.5, #06: 100 ~ 300 kPa (d) | 200 ~ 300 kPa(d) | ||||
| 工作壓差（SEF） | ≤ 300 kPa (d) | ||||||
| 大工作壓力 | 450 kPa (g) | ||||||
| 大承受壓力 | 1000 kPa (g) | ||||||
| 外漏 | ≤ 5 x 10-12Pa·m3/s (He) | ||||||
| 流量設定信號 | 0.1 ~ 5V DC(2% ~ F.S); 輸入阻抗1MΩ或更高 | ||||||
| 流量輸出信號 | 0 ~ 5 V DC (0% ~F.S.); 小負載電阻2kΩ或更高 | ||||||
| 數字接口 | 具備地址功能n: RS-485 (傳送速率 38,400 bps) F-Net 協(xié)議 | ||||||
| 內部接觸表面 | 316L 不銹鋼 (表面拋光) | ||||||
| 電源供應 |
|
| +15V 5% 150mA | -15V5%150mA |
| ||
| 信號響應 | 模擬式:D-Sub9-pin (頂部) 數字式: 2LANjacks (頂部) | ||||||
| 標準接頭 | *3 | 1/4 英寸VCR相當 可選: 1.125英寸 IGS, 1.5英寸 IGS | 1/4 英寸 VCR相當 可選: 1.125英寸 IGS | 1.5英寸 IGS | |||
| 安裝方向 | 自由 | ||||||
HORIBA STEC SEC-Z512KX質量流量控制器
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