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| 產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 產(chǎn)品種類 | 節(jié)流式 |
|---|---|---|---|
| 價(jià)格區(qū)間 | 5千-1萬(wàn) | 介質(zhì)分類 | 氣體 |
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 醫(yī)療衛(wèi)生,化工,石油,地礦,電子/電池 |
產(chǎn)品型號(hào)
HORIBA STEC SEC-400MK3 質(zhì)量流量控制器
STEC SEC-400MK3 STEC SEC-500MK3
產(chǎn)品簡(jiǎn)介
詳細(xì)介紹
HORIBA STEC SEC-400MK3 質(zhì)量流量控制器
概要
MARK3系列是在未改變質(zhì)量流量控制器的品質(zhì)特性的條件下實(shí)現(xiàn)成本降低的量產(chǎn)產(chǎn)品,。材質(zhì)和泄漏規(guī)格則與一般型號(hào)產(chǎn)品的SEC-400,、SEC-500系列**。主要用途為制程用的氣體流量控制,、根據(jù)重點(diǎn)關(guān)注于重復(fù)性以及限定氣體的種類,、流量進(jìn)行生產(chǎn),、實(shí)現(xiàn)了成本降低。適合于定流量,、長(zhǎng)時(shí)間的穩(wěn)定控制重復(fù)控制的場(chǎng)合,。而且也同樣適用于研究所的簡(jiǎn)易流量控制。
特征
- 搭載熱感閥
- 追求成本優(yōu)勢(shì),、實(shí)現(xiàn)成本降低
規(guī)格
| SEC-400MK3 | |
| 氣體接觸部材質(zhì) | SUS-316,、氟化橡膠 |
| 閥門(mén)類型 | NO: 非通電時(shí)：開(kāi) |
| 標(biāo)準(zhǔn)流量量程 | 10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2/3/5 SLM ：空氣.N2.O2.Ar.H2.He |
| 流量控制范圍 | 5?100％ F.S.(滿量程) |
| 流量精度 | ±2.0％ F.S.(滿量程) |
| SEC-500MK3 | |
| 氣體接觸部材質(zhì) | SUS-316、氟化橡膠 |
| 閥門(mén)類型 | NO: 非通電時(shí)：開(kāi) |
| 標(biāo)準(zhǔn)流量量程 | 10/20 SLM ：空氣.N2.O2.Ar.H2.He |
| 流量控制范圍 | 5?100％ F.S.(滿量程) |
| 流量精度 | ±2.0％ F.S.(滿量程) |
HORIBA STEC SEC-400MK3 質(zhì)量流量控制器
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