HORIBA S48/32質(zhì)量流量控制器

S48/32質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品介紹

 氣體質(zhì)量流量控制器（流量計）（Mass gas flow controller(meter)縮寫為 MFC(MFM)）是對氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測量和控制的設(shè)備,。

S48/32 質(zhì)量流量控制器（流量計）

   特點： ☆工作壓力范圍寬，氣體流量不因溫度,、壓力的變化而變化,。

              ☆主體采用不銹鋼（316L）結(jié)構(gòu),，氣密材料采用 VITON®、聚四氟乙烯等,。適 用于各種耐腐蝕性氣體,。線路板、閥體,、彈等為重要零部件,，均執(zhí)行 嚴(yán)格的入廠標(biāo)準(zhǔn)。 ☆具有精度高,、重復(fù)性好,、軟啟動、工作穩(wěn)定可靠,。

              ☆電氣操作控制顯示,，使用方便。易于與電氣系統(tǒng)或自動控制系統(tǒng)配合,。 ☆配合 MT-51 系列流量積算儀,，可對氣體的瞬時流量和累積流量進(jìn)行計 量。

 S48/32 質(zhì)量流量控制器（流量計）主要應(yīng)用領(lǐng)域：

    半導(dǎo)體制造行業(yè)的氣體流量控制,；   

    分析儀器設(shè)備的氣體計量與控制,；

    各種形式的真空鍍膜設(shè)備；

    環(huán)境檢測與分析設(shè)備,；

    化工,、石化、食品,、冶金、光纖熔煉等行業(yè)氣體流量檢測和控制,；

    特種材料表面處理裝置與燃燒控制,；

    混氣配氣系統(tǒng)和泄露探測系統(tǒng)等。

S48/32質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品規(guī)格

   質(zhì)量流量控制器（流量計）由質(zhì)量流量傳感器,，分流器通道,，流量控制調(diào)節(jié) 閥和放大控制電路等部件組成。 本流量控制器利用流動流體傳遞熱量改變測量毛細(xì)管壁溫度分布的熱傳導(dǎo)分 布效應(yīng)而制成,，即熱分布式流量計（Thermal Profile Flowmeter）,。 采用毛細(xì)管傳熱溫差量熱法原理測量氣體的質(zhì)量流量，可以不受溫度壓力的 影響,。將傳感器測得的流量信號進(jìn)行放大,，然后與設(shè)定的電壓進(jìn)行比較，用所得 的差值信號去驅(qū)動控制調(diào)節(jié)閥門,，通過閉環(huán),，去控制流過通道的流量使之與設(shè)定 的流量相等,。

HORIBA S48/32質(zhì)量流量控制器