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RTS-5型雙電測(cè)四探針測(cè)試儀采用了四探針雙電測(cè)組合(亦稱雙位組合)測(cè)量新技術(shù),將范德堡測(cè)量方法推廣應(yīng)用到直線四探針上,利用電流探針,、電壓探針的變換,，在計(jì)算機(jī)控制下進(jìn)行兩次電測(cè)量,，能自動(dòng)消除樣品幾何尺寸、邊界效應(yīng)以及探針不等距和機(jī)械游移等因素對(duì)測(cè)量結(jié)果的影響,。因而每次測(cè)量不必知道探針間距,、樣品尺寸及探針在樣品表面上的位置。由于每次測(cè)量都是對(duì)幾何因素的影響進(jìn)行動(dòng)態(tài)的自動(dòng)修正,，因此顯著降低了幾何因素影響,，從而提高了測(cè)量結(jié)果的準(zhǔn)確度。所有這些,，用目前大量使用的常規(guī)四探針測(cè)量方法所生產(chǎn)的儀器是無法實(shí)現(xiàn)的,。

RTS-5型雙電測(cè)四探針軟件測(cè)試系統(tǒng)是一個(gè)運(yùn)行在計(jì)算機(jī)上擁有友好測(cè)試界面的用戶程序，通過此測(cè)試程序輔助使用戶簡(jiǎn)便地進(jìn)行各項(xiàng)測(cè)試及獲得測(cè)試數(shù)據(jù)并對(duì)測(cè)試數(shù)據(jù)進(jìn)行統(tǒng)計(jì)分析,。
測(cè)試程序控制四探針測(cè)試儀進(jìn)行測(cè)量并采集測(cè)試數(shù)據(jù),，把采集到的數(shù)據(jù)在計(jì)算機(jī)中加以分析，然后把測(cè)試數(shù)據(jù)以表格,，圖形直觀地記錄,、顯示出來。用戶可對(duì)采集到的數(shù)據(jù)在電腦中保存或者打印以備日后參考和查看,，還可以把采集到的數(shù)據(jù)輸出到Excel中,，讓用戶對(duì)數(shù)據(jù)進(jìn)行各種數(shù)據(jù)分析

技術(shù)參數(shù)：

測(cè)量范圍	電阻率：0.0001～2000Ω.cm(可擴(kuò)展),；方塊電阻：0.001～20000Ω/□(可擴(kuò)展),；電導(dǎo)率：0.0005～10000 s/cm；電阻：0.0001～2000Ω.cm,；
可測(cè)晶片厚度	≤3mm
可測(cè)晶片直徑	140mmX150mm(配S-2A型測(cè)試臺(tái)),； 200mmX200mm(配S-2B型測(cè)試臺(tái))； 400mmX500mm(配S-2C型測(cè)試臺(tái)),；
恒流源	電流量程分為0.1mA,、1mA、10mA,、100mA四檔,，各檔電流連續(xù)可調(diào)
數(shù)字電壓表	量程及表示形式：000.00～199.99mV；　　　　分辨力：10μV,；輸入阻抗：>1000MΩ,；精度：±0.1% ；顯示：四位半紅色發(fā)光管數(shù)字顯示,；極性,、超量程自動(dòng)顯示,；
四探針探頭基本指標(biāo)	間距：1±0.01mm；針間絕緣電阻：≥1000MΩ,；機(jī)械游移率：≤0.3%,；探針：碳化鎢或高速鋼Ф0.5mm；探針壓力：5～16 牛頓(總力),；
四探針探頭應(yīng)用參數(shù)	(見探頭附帶的合格證)
模擬電阻測(cè)量相對(duì)誤差 ( 按JJG508-87進(jìn)行)	0.1Ω,、1Ω、10Ω,、100Ω小于等于0.3%±1字
整機(jī)測(cè)量zui大相對(duì)誤差	(用硅標(biāo)樣片：0.01-180Ω.cm測(cè)試)≤±4%
整機(jī)測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)不確定度	≤4%
測(cè)試標(biāo)準(zhǔn)	采用雙電測(cè)測(cè)試標(biāo)準(zhǔn),，通過RTS-5雙電測(cè)測(cè)試軟件控制四探針測(cè)試儀進(jìn)行測(cè)量并實(shí)時(shí)采集兩次組合模式下的電壓值，然后根據(jù)雙電測(cè)測(cè)試原理公式計(jì)算出電阻值,。儀器主機(jī)也可兼容RTS-4四探針測(cè)試軟件實(shí)現(xiàn)單電測(cè)測(cè)試標(biāo)準(zhǔn),，兩套軟件可同時(shí)使用。
軟件功能	軟件可記錄,、保存,、打印每一點(diǎn)的測(cè)試數(shù)據(jù)，并統(tǒng)計(jì)分析測(cè)試數(shù)據(jù)zui大值,、zui小值,、平均值、zui大百分變化,、平均百分變化,、徑向不均勻度、并將數(shù)據(jù)生成直方圖,，也可把測(cè)試數(shù)據(jù)輸出到Excel中,，對(duì)數(shù)據(jù)進(jìn)行各種數(shù)據(jù)分析。軟件還可選擇自動(dòng)測(cè)量功能,，根據(jù)樣品電阻大小自動(dòng)選擇適合電流量程檔測(cè)試,。
計(jì)算機(jī)通訊接口	并口，高速并行采集數(shù)據(jù),。
標(biāo)準(zhǔn)使用環(huán)境	溫度：23±2℃,；相對(duì)濕度：≤65%；無高頻干擾,；無強(qiáng)光直射,；

配置	四探針測(cè)試儀主機(jī)、S-2B型探針臺(tái),、FT-201四探針探頭,、測(cè)試軟件(含測(cè)控模塊)	19000/套
配置	四探針測(cè)試儀主機(jī)、S-2B型探針臺(tái),、FT-201四探針探頭,、臺(tái)式電腦	24000/套
備注	用戶可按實(shí)際需要選擇配置,，電腦可按用戶要求以市場(chǎng)價(jià)配置或自行購(gòu)置安裝測(cè)試軟件即可