箱式電子束蒸發(fā)鍍膜機(jī) 型號(hào)：YQDH-500ZZS 貨號(hào)：ZH5496 
產(chǎn)品簡(jiǎn)介
  適用于制備導(dǎo)電薄膜,，半導(dǎo)體薄膜,、鐵電薄膜,、光學(xué)薄膜，薄膜研究及新材料工作,。其主要特點(diǎn)為功能強(qiáng),、鍍膜穩(wěn)定、重復(fù)性好,、操作簡(jiǎn)便,。
主要參數(shù)
1、鍍膜室體積：500×500×600mm3,，規(guī)格可定做,；
2、限真空度：6.7×10-5 Pa,，恢復(fù)真空：從大氣抽至6.7×10-4 Pa ≤（40分鐘）,；
3、真空抽氣系統(tǒng)：機(jī)械泵與復(fù)合分子泵組成,；真空測(cè)量系統(tǒng)：復(fù)合數(shù)顯真空計(jì),；
4、蒸發(fā)源：電子束蒸發(fā)源：270°E型電子槍及高壓電源,，電子槍功率0～6KW可調(diào),；
           電阻蒸發(fā)源：銅水冷電4根，功率：3kW/10V兩組,；
5、結(jié)構(gòu)形式：立式前開(kāi)門后置抽氣系統(tǒng),；
6,、工件烘烤溫度：室溫～800℃可控可調(diào)（PID控溫）；
7,、旋轉(zhuǎn)夾具：公轉(zhuǎn)或行星公自轉(zhuǎn)夾具,。速度從 0r～30r/min 可調(diào)；
8,、選配件：光學(xué)膜厚測(cè)量系統(tǒng),、石英晶振測(cè)厚儀、高壓離子轟擊,、霍爾離子源,、冷卻水機(jī)組等,；
9、供電電源：三相AC380V,，50Hz,；整機(jī)功率22KW。