美國MKS流量控制器GE50A系列原廠直采,，GE50A是通用的,，彈性體密封的MFC，非常適用于各種需要流量控制能力從5 sccm到50 slm N2的應(yīng)用當(dāng)量,。GE50A集成了比較新的數(shù)字流量控制電子設(shè)備以及久經(jīng)考驗(yàn)的,，獲得的熱傳感器和機(jī)械設(shè)計(jì)。

美國MKS流量控制器GE50A系列原廠直采

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   GE50A是一種通用型彈性密封的質(zhì)量流量控制器,，可在多種應(yīng)用場合測量和控制氣體的流量，特別是可重復(fù)性要求高的場合,。配上合適的壓力控制器,，它還可以作為壓力控制器使用。

對于當(dāng)今市場上的質(zhì)量流量控制器,，GE50A可作為直接替代的產(chǎn)品,，標(biāo)準(zhǔn)的3英寸底座使GE50A能夠直接進(jìn)行安裝而無需改變現(xiàn)有的氣體管道。它具有數(shù)字和模擬兩種模式,，其精度為全量程的1%,。

該GE50A數(shù)字控制質(zhì)量流量控制器可配備RS485，PROFIBUS,，EtherCAT的,，或DeviceNetI / O。 數(shù)字電子控制利用快速和可重復(fù)響應(yīng)的MKS控制算法在整個(gè)設(shè)備控制范圍內(nèi)設(shè)定值,。 典型的反應(yīng)時(shí)間是500毫秒的量級,。 數(shù)字校準(zhǔn)收益率校準(zhǔn)氣體設(shè)定精度為1％。 I / O協(xié)議旨在讓GE50A輕松地與較小的編碼代替MKS 1179A MFC的RS485和DeviceNet版本,。

   一個(gè)標(biāo)準(zhǔn)的3英寸的足跡使得其無需修改現(xiàn)有的天然氣生產(chǎn)線配置使用,。 該GE50A采用了一些彈性體 - 只有一個(gè)外部彈性體密封和彈性體閥塞。 所有濕潤的表面是金屬,。 該GE50A帶有氟橡膠密封件或可選布納,，Neoprene或的Kalrez標(biāo)準(zhǔn),，支持不同的氣體需求。

   GE50A是通用的,，彈性體密封的MFC,，非常適用于各種需要流量控制能力從5 sccm到50 slm N2的應(yīng)用當(dāng)量。GE50A集成了比較新的數(shù)字流量控制電子設(shè)備以及久經(jīng)考驗(yàn)的,，獲得熱傳感器和機(jī)械設(shè)計(jì),。

   GE50A數(shù)字控制MFC可提供模擬或數(shù)字I / O。數(shù)字化控制電子器件采用比較新的MKS控制算法,，可提供快速,，可重復(fù)的功能在整個(gè)設(shè)備控制范圍內(nèi)對設(shè)定點(diǎn)的響應(yīng)。典型的響應(yīng)時(shí)間在500毫秒的量級,。

   包括數(shù)字校準(zhǔn),，可產(chǎn)生設(shè)定點(diǎn)精度的1%在校準(zhǔn)氣體上。 GE50A的模擬和數(shù)字I / O可以輕松用于替換與1179A MFC相同的I / O類型,。所有GE50A均包含Modbus,。輔助I / O(不包括PROFINET?和EtherCAT?)。

   GE50A利用3sccm的MFC比較常使用的標(biāo)準(zhǔn)3英寸占位面積到50 slm的流量范圍,，無需修改現(xiàn)有的氣體管線即可使用配置,。 GE50A的設(shè)計(jì)采用了比較少的彈性體。有僅一個(gè)外部彈性體密封件和彈性體閥塞,。

   否則,，所有濕潤的表面是金屬的。 GE50A標(biāo)配Viton?密封件以及Buna選件,，Neoprene?,，EPMD或Kalrez?允許設(shè)備使用需要以下氣體之一的氣體備擇方案。 GE50A MFC具有常閉型或常開型閥,。

MKS流量控制器GE50A系列技術(shù)參數(shù)：

   全量程：10SCCM,，20SCCM，50SCCM,，100SCCM,，200SCCM，500SCCM,，1000SCCM,，2000SCCM，5000SCCM,，10000SCCM,，20000SCCM。

   控制量程：2% to 的全量程,。

   測量精度：全量程的1%

   靈敏度：全量程的0.1%

   熱機(jī)時(shí)間：小于2Min.

   響應(yīng)速度：小于2Sec.

   輸入電壓：±15VDC@100ma

   輸出電壓：0-5VDC

   連接器：模擬：9Pin或15Pin或20Pin Card edge.

   數(shù)字：RS485或Device net或Profibus

   法蘭接口：Swagelok 4VCR,，Swagelok4 VCO,，Swage 1/4"等

   材質(zhì)：316不銹鋼。

   質(zhì)保期：有限保修自售出之日起12個(gè)月,。

美國MKS流量控制器GE50A系列原廠直采