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更新時(shí)間:2024-07-10 13:42:51瀏覽次數(shù):640評(píng)價(jià)
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應(yīng)用領(lǐng)域 | 環(huán)保,化工,電子/電池 |
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FPD-PECVD 電漿輔助化學(xué)氣相沉積
隨著LCD面板和製造所需玻璃的尺寸的增加,其製造設(shè)備也變得更大,,需要越來越大的設(shè)備投資,。SYSKEY針對(duì)中小尺寸的需求開發(fā)串集的PECVD 設(shè)備,,提供非晶矽(a-Si),氧化矽(SiOx),,氮氧化矽(SiON),,氮化矽(SiNx)和多層膜沉積。
FPD-PECVD 電漿輔助化學(xué)氣相沉積
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