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金屬材料研究,。

奈米薄膜。

太陽(yáng)能電池。

客製化的腔體尺寸取決於基板尺寸

和其應(yīng)用,。

寬大的前開(kāi)式門(mén),，並有兩個(gè)視窗和

視窗遮版用於觀察基材和蒸發(fā)源。

腔體的極限真空度約為10^-8 Torr,。

客製化的基板尺寸,，最大直徑為12寸

晶圓或470 x 370 mm²(玻璃)。

寬大的前開(kāi)式門(mén),，並有兩個(gè)視窗和

視窗遮版用於觀察基材和蒸發(fā)源,。

優(yōu)異的薄膜均勻度小於±3％。

具有順序操作或共沉積的多個(gè)蒸發(fā)源,。

基板可加熱到800°C,。

利用載臺(tái)旋轉(zhuǎn)來(lái)改善薄膜沉積之品質(zhì)。

基板至蒸發(fā)源之間距為可調(diào)式的,。

每個(gè)蒸發(fā)源和基材均有安裝遮板,。

可以與傳送腔、機(jī)械手臂和手套

箱整合在一起,。

結(jié)合離子源,、濺鍍槍、電子束,、

等離子清潔...,。

基板冷卻。

殘留氣體分析儀,。