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通過選擇合適的配方,，F(xiàn)TPadv反射儀以小于100ms的測量速度、精度小于0.3nm,、厚度范圍為50nm-25μm的精度進行厚度測量,。

自動建模

通過測量反射光譜和光譜數(shù)據(jù)庫的比較，將測量誤差減到很小,。

光譜橢偏SE為基礎(chǔ)的材料數(shù)據(jù)庫

基于SENTECH精確的橢偏光譜測量的大型材料庫為測量新材料的光學(xué)常數(shù)提供了配方,。

應(yīng)用

二十年來,，SENTECH已經(jīng)成功地銷售了用于各種應(yīng)用的薄膜厚度探針FTPadv,。這種臺式反射儀的特點是不管在低溫或高溫下，在工業(yè)或研發(fā)環(huán)境中,，都能通過遠程或直接控制,，對小樣品或大樣品進行實時或在線厚度測量。

臺式反射儀FTPadv精確,、可重復(fù)地測量反射和透明襯底上透明和弱吸收膜的厚度和折射率,。FTPadv可以結(jié)合在顯微鏡上，或者配備有穩(wěn)定的光源,，用于測量厚度達到25 µm (根據(jù)要求可更厚)的膜層,。更具備了從SENTECH光譜橢偏儀經(jīng)驗中受益的預(yù)定義的、經(jīng)由客戶驗證的,、以及隨時可以使用的應(yīng)用程序的廣泛數(shù)據(jù)庫,。

FTPadv的特征在于對來自疊層樣品的任何膜層的厚度進行測量，使得FTPadv成為膜厚測量的理想成本效益的解決方案,。用于工藝控制的FTPadv包括具有采樣器的光纖束,、具有鹵素?zé)舻姆€(wěn)定光源以及FTP光學(xué)控制站。局域網(wǎng)連接到PC允許了遠程控制的FTPadv在工業(yè)應(yīng)用,，如惡劣環(huán)境,，特殊保護空間或大型機械。

反射儀FTPadv帶有大量預(yù)定義的配方,，例如半導(dǎo)體上的介質(zhì)膜,、半導(dǎo)體膜,、硅上的聚合物、透明襯底上的膜,、金屬襯底上的膜等等,。自動建模特性允許通過與光譜庫的快速比較來檢測樣本類型。該反射儀將操作誤差減到很小,。用光學(xué)反射法測量膜厚從未如此容易,。

SENTECH FTPadv菜單驅(qū)動的操作軟件允許單層和疊層結(jié)構(gòu)的厚度測量，具有操作指導(dǎo),。此外,，它還具有強大的分析工具和出色的報告輸出功能。附加的自動掃描軟件可用于控制電動樣品臺,。將軟件升級到用于反射測量的高級分析的軟件包FTPadv EXPERT,，即可應(yīng)用于具有未知或不恒定光學(xué)特性的材料。因此,，單層薄膜厚度測量以及折射率和消光系數(shù)分析是可實現(xiàn)的,。