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四探針測試儀(FT201探頭,帶軟件)

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  • 型號 PN000877
  • 品牌
  • 廠商性質 生產商
  • 所在地 北京市
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更新時間:2019-01-16 15:12:47瀏覽次數(shù):875

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產品簡介

四探針測試儀(FT201探頭,,帶軟件)適用于半導體材料廠,、半導體器件廠、科研單位,、高等院校對半導體材料的電阻性能測試,。運用四探針測量原理的多用途綜合測量設備。該儀器按照單晶硅物理測試方法國家標準并參考美國 A.S.T.M 標準而設計的,,于測試半導體材料電阻率及方塊電阻(薄層電阻)的儀器,。儀器由主機、測試臺,、四探針探頭,、計算機等部分組成,測量數(shù)據(jù)既可由主機直接顯示,,亦可由計算機控制測試采集測試數(shù)據(jù)到計算機中加以分析

詳細介紹

四探針測試儀(主機,、S2A 測試臺、FT201探頭,,帶軟件)

貨號:PN000877

產品資料

  

四探針測試儀(主機,、S2A 測試臺、FT201探頭)

本儀器適用于半導體材料廠,、半導體器件廠,、科研單位、高等院校對半導體材料的電阻性能測試,。
運用四探針測量原理的多用途綜合測量設備,。該儀器按照單晶硅物理測試方法國家標準并參考美國 A.S.T.M 標準而設計的,于測試半導體材料電阻率及方塊電阻(薄層電阻)的儀器,。
儀器由主機,、測試臺、四探針探頭,、計算機等部分組成,,測量數(shù)據(jù)既可由主機直接顯示,亦可由計算機控制測試采集測試數(shù)據(jù)到計算機中加以分析,,然后以表格,,圖形方式統(tǒng)計分析顯示測試結果。
儀器采用了新電子技術進行設計,、裝配,。具有功能選擇直觀,、測量取數(shù)快、精度高,、測量范圍寬,、穩(wěn)定性好、結構緊湊,、易操作等特點,。

測試程序控制四探針測試儀進行測量并采集測試數(shù)據(jù),把采集到的數(shù)據(jù)在計算機中加以分析,,然后把測試數(shù)據(jù)以表格,,圖形直觀地記錄、顯示出來,。用戶可對采集到的數(shù)據(jù)在電腦中保存或者打印以備日后參考和查看,,還可以把采集到的數(shù)據(jù)輸出到Excel中,讓用戶對數(shù)據(jù)進行各種數(shù)據(jù)分

 測量范圍

 電阻率:10-5~105 Ω.cm(可擴展),;  
 方塊電阻:10-4~106 Ω/□(可擴展),; 
 電導率:10-5~105 s/cm; 
 電阻:10-5~105 Ω,; 

可測晶片直徑

 140mmX150mm(配S-2A型測試臺),;
 200mmX200mm(配S-2B型測試臺);
 400mmX500mm(配S-2C型測試臺),;

恒流源

 電流量程分為1μA,、10μA、100μA,、1mA,、10mA、100mA六檔,,各檔電流連續(xù)可調

數(shù)字電壓表

 量程及表示形式:000.00~199.99mV,;    
 分辨力:10μV;
 輸入阻抗:>1000MΩ,;
 精度:±0.1% ,;
 顯示:四位半紅色發(fā)光管數(shù)字顯示;極性,、超量程自動顯示,;

四探針探頭基本指標

 間距:1±0.01mm;
 針間絕緣電阻:≥1000MΩ,; 
 機械游移率:≤0.3%,;
 探針:碳化鎢或高速鋼Ф0.5mm;
 探針壓力:5~16 牛頓(總力),;

四探針探頭應用參數(shù)

 (見探頭附帶的合格證)

模擬電阻測量相對誤差
( 按JJG508-87進行)

 0.01Ω,、0.1Ω、1Ω,、10Ω,、100Ω、1000Ω,、10000Ω≤0.3%±1字

整機測量最大相對誤差

(用硅標樣片:0.01-180Ω.cm測試)≤±5%

整機測量標準不確定度

 ≤5%

計算機通訊接口

 并口,,高速并行采集數(shù)據(jù),連接電腦使用時采集數(shù)據(jù)到電腦的時間只需要1.5  秒

(在 0.1mA,、1mA,、10mA、100mA量程檔時),。連接電腦使用時帶自動測量功能,,

自動選擇適合樣品測試電流量程;

標準使用環(huán)境

 溫度:23±2℃,;
 相對濕度:≤65%,;
 無高頻干擾;
 無強光直射,;

 

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