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雙電測四探針測試儀(帶軟件)

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  • 型號 PN000137
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  • 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)商
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更新時間:2019-01-16 15:13:34瀏覽次數(shù):787

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產(chǎn)品簡介

采用了四探針雙電測組合(亦稱雙位組合)測量新技術(shù),將范德堡測量方法推廣應(yīng)用到直線四探針上,利用電流探針,、電壓探針的變換,,在計算機(jī)控制下進(jìn)行兩次電測量,能自動消除樣品幾何尺寸,、邊界效應(yīng)以及探針不等距和機(jī)械游移等因素對測量結(jié)果的影響,。因而每次測量不必知道探針間距、樣品尺寸及探針在樣品表面上的位置,。由于每次測量都是對幾何因素的影響進(jìn)行動態(tài)的自動修正,,因此顯著降低了幾何因素影響,從而提高了測量結(jié)果的準(zhǔn)確度

詳細(xì)介紹

雙電測四探針測試儀(主機(jī),,S2A 測試臺,,F(xiàn)T201探頭,帶軟件)

貨號:PN000137

產(chǎn)品資料

  

雙電測四探針測試儀(主機(jī),,S2A 測試臺,,F(xiàn)T201探頭,帶軟件)

采用了四探針雙電測組合(亦稱雙位組合)測量新技術(shù),將范德堡測量方法推廣應(yīng)用到直線四探針上,利用電流探針,、電壓探針的變換,,在計算機(jī)控制下進(jìn)行兩次電測量,能自動消除樣品幾何尺寸,、邊界效應(yīng)以及探針不等距和機(jī)械游移等因素對測量結(jié)果的影響,。因而每次測量不必知道探針間距、樣品尺寸及探針在樣品表面上的位置,。由于每次測量都是對幾何因素的影響進(jìn)行動態(tài)的自動修正,,因此顯著降低了幾何因素影響,從而提高了測量結(jié)果的準(zhǔn)確度,。所有這些,,用目前大量使用的常規(guī)四探針測量方法所生產(chǎn)的儀器是無法實(shí)現(xiàn)的,。

測試程序控制四探針測試儀進(jìn)行測量并實(shí)時采集兩次組合模式下的測試數(shù)據(jù),把采集到的數(shù)據(jù)在計算機(jī)中加以分析,,然后把測試數(shù)據(jù)以表格,,圖形直觀地記錄、顯示出來,。用戶可對采集到的數(shù)據(jù)在電腦中保存或者打印以備日后參考和查看,,還可以把采集到的數(shù)據(jù)輸出到Excel中,讓用戶對數(shù)據(jù)進(jìn)行各種數(shù)據(jù)分析

測量范圍

 電阻率:10-5~105 Ω.cm(可擴(kuò)展),;  

 方塊電阻:10-4~106 Ω/□(可擴(kuò)展),; 
 電導(dǎo)率:10-5~105 s/cm 
 電阻:10-5~105 Ω,;

可測晶片厚度

 ≤3mm

可測晶片直徑

 140mmX150mm(配S-2A型測試臺),;
 200mmX200mm(配S-2B型測試臺);
 400mmX500mm(配S-2C型測試臺),;

恒流源

 電流量程分為1μA,、10μA、100μA,、1mA,、10mA、100mA六檔,,各檔電流連續(xù)可調(diào)

數(shù)字電壓表

 量程及表示形式:000.00~199.99mV,;    
 分辨力:10μV;
 輸入阻抗:>1000MΩ,;
 精度:±0.1% ,;
 顯示:四位半紅色發(fā)光管數(shù)字顯示;極性,、超量程自動顯示,;

四探針探頭基本指標(biāo)

 間距:1±0.01mm;
 針間絕緣電阻:≥1000MΩ,; 
 機(jī)械游移率:≤0.3%,;
 探針:碳化鎢或高速鋼Ф0.5mm;
 探針壓力:5~16 牛頓(總力),;

四探針探頭應(yīng)用參數(shù)

 (見探頭附帶的合格證)

模擬電阻測量相對誤差
( 按JJG508-87進(jìn)行)

 0.01Ω,、0.1Ω、1Ω,、10Ω,、100Ω、1000Ω、10000Ω≤0.3%±1字

整機(jī)測量最大相對誤差

(用硅標(biāo)樣片:0.01-180Ω.cm測試)≤±4%

整機(jī)測量標(biāo)準(zhǔn)不確定度

 ≤4%

計算機(jī)通訊接口

 并口

標(biāo)準(zhǔn)使用環(huán)境

 溫度:23±2℃,;
 相對濕度:≤65%;
 無高頻干擾,;
 無強(qiáng)光直射,;

 

 

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