瑞士VAT真空閘板閥在中國的合作供貨商
VAT是一家在真空閥門領域處于絕對位置的瑞士公司,，VAT自1964年成立以來,，在真空閥門技術領域實現了專業(yè)化的運作,。因其強大的研發(fā)創(chuàng)新和業(yè)界聞名的高品質，世界各半導體芯片設備,、太陽能設備制造廠商、大學和科研機構大量采用了VAT公司的產品,，其生產的閥門在真空產生和研究系統(tǒng)中都是業(yè)界的標準組件,。

瑞士VAT真空閘板閥在中國的合作供貨商

VAT是一家在真空閥門領域處于絕對位置的瑞士公司，VAT自1964年成立以來,，在真空閥門技術領域實現了專業(yè)化的運作,。因其強大的研發(fā)創(chuàng)新和業(yè)界聞名的高品質，世界各半導體芯片設備,、太陽能設備制造廠商,、大學和科研機構大量采用了VAT公司的產品，其生產的閥門在真空產生和研究系統(tǒng)中都是業(yè)界的標準組件,。

VAT閥門主要運用在：半導體加工,，玻璃或鍍膜設備，高能物理（科研）,，同步加速器（科研）,，激光技術，空間模擬,，冶金,，表面分析等行業(yè)。產品包括：插板閥,、蝶閥,、傳送閥、隔膜閥,、角閥等,，是高靈敏度和高可靠性的控制真空閥。

產品服務：

瑞士VAT閥門,、閘閥,、鐘擺閥、控制閥,、角閥,、隔膜閥,、連接部件、多閥門模塊,、加熱器,、鍍膜

品牌介紹：

VAT真空閥門公司是一家活躍于市場的瑞士公司,，是真空閥門開發(fā),、制造和銷售的公司。產品廣泛用于半導體,、鍍膜行業(yè)和研發(fā),、平板顯示器制造,，玻璃和工具鍍膜，冶金,，表面分析,，高能物理學，同步加速器,，激光技術和太空旅行模擬等領域,。

 

主要型號：

010系列、012系列,、081系列,、091系列、108系列,、110系列,、121系列、140系列,、150系列,、152系列、162系列,、168系列,、640系列、641系列,、650系列,、652系列、022系列,、032系列,、043系列、075系列,、076系列,、066系列、211系列,、214系列,、216系列,、245系列、264系列,、471系列,、773系列、790系列,、790系列

瑞上VAT部分產品介紹

1.VAT閘閥

具有模塊化執(zhí)行機構概念的VAT緊湊型迷你超高壓閘閥非常適合I業(yè)和研發(fā)應用。它通常用于半導體工藝系統(tǒng)的管道中,。插入版本

以集成到真空系統(tǒng)中(無閥體),，更高的密封材料(Chemraz, EPDM等)， 帶有VITON制成的密封件,，可更換,，特殊的閥門澆口，適

合安裝各種孔板,。

2.VAT蝶閥

VAT蝶閥是下游應用的蝶形壓力控制閥,。帶有非常快速且堅固的執(zhí)行器,，高性能,，集成控制器，具備極短的控制響應時間和位置指I

示,，自動維護指示,，出色的抗污染能力。該閥"的控制器可確保非?？焖俸蜏蚀_的壓力控制,。通過操作L EARN功能，在啟動時只

需要執(zhí)行一次,，即可自動確定系統(tǒng)參數,。由于采用了自適應算法，因此控制器可以連續(xù)適應過程條件(氣體種類,，氣體流量),，從而

確保隨時進行最佳壓力控制。

B.VAT轉換閥

VAT轉換閥用于200.300和450毫米晶圓的半導體生產系統(tǒng)中的負載鎖定和處理室隔離,。雙作用氣動執(zhí)行器,，主體材質為鋁，不銹

鋼,，波紋管受保護,，使用壽命長，大于500萬次循環(huán)的預期壽命,，公稱內徑32x222到56x496毫米,。

4.VAT角閥

VAT角閥適用于大多數腐蝕性氣體,，除氣率極低。當排氣速率極低時,，對于特高壓系統(tǒng)的泵送和排氣很重要,。耐高壓差，固定式可

旋轉CF法蘭,，在最高溫度80°C下可以進行300萬次循環(huán),，主體材質不銹鋼，執(zhí)行器類型分為手動執(zhí)行器(手輪),，氣動執(zhí)行器(單閉

孔,，帶有閉合彈簧NC)。

5.VAT軟啟動閥

VAT軟啟動閥由兩半節(jié)流閥瓣組成,，它們支撐在一條公共軸 上,，并通過彈簧保持在打開位置。軸保持在ISO KF對中環(huán)中,，該對中環(huán)

形成為帶有閥座的主體,。將它們安裝在兩個SO-KF法蘭(而不是定心環(huán)之間時，必須將打開的閥對準真空管路中的氣流,。當粗加

工系統(tǒng)投入運行時,，在粗加工管線中會產生強氣流，該氣流會立即關閉閥門,，并使管段減少約99%,。當達到約2%的壓差時，在

15mbar時,，閥]打開并幾乎毫5阻礙地離開管道,，以進行進步泵送。

瑞士VAT真空閘板閥在中國的合作供貨商