瑞士VAT真空閘閥國內(nèi)現(xiàn)貨供應(yīng)-VAT閥銷售商
不同類型閥的特點(diǎn)計(jì)應(yīng)用:
真空閘閥 – 通常是隔離或較簡單的控制應(yīng)用的理想選擇,。安裝深度很窄,,傳導(dǎo)性最大(流阻最小),,但閘門的行程空間需要,。這些也可以采取真空狹縫閥、真空傳輸閥或真空門的形式,,產(chǎn)品通過這些閥門被引入真空工藝室,。
真空角閥 – 通用的一般用途真空閥。尺寸非常緊湊,,通常在密封,、執(zhí)行器和傳感器方面非常模塊化。平均電導(dǎo)率,非常容易維護(hù),。非常好,,如果需要的話,有非常精確的可控性,。
真空蝶閥 – 主要用于控制應(yīng)用,。非常窄的安裝深度,良好的傳導(dǎo)性,,快速和精確的可控性,。
真空擺閥 – 非常窄的安裝深度和緊湊的尺寸,結(jié)合非常精確的控制行為,,非常好的絕緣能力和非常高的傳導(dǎo)性,。
對稱流真空調(diào)節(jié)閥 – 特殊類型,優(yōu)化了從第一個(gè)開口到整個(gè)閥門開口的非常均勻的流動行為,。
氣體計(jì)量閥或漏氣閥 – 特別是對于非常精細(xì)的計(jì)量,,例如,低流量的工藝氣體的計(jì)量,。
泄壓閥或排氣閥 – 安全閥允許真空系統(tǒng)有控制地,,通常是通風(fēng),并防止超過規(guī)定的壓力條件,。
真空止回閥 –被動式,,體積流量和壓差操作的閥門。通常用于保護(hù)真空系統(tǒng)免受倒流污染,。例如,,用于真空回流泵和真空系統(tǒng)之間。
快速閉合閥 – 主動式保護(hù)閥,,通常保護(hù)較大的真空體積或真空室不因泄漏而造成真空損失,。主要特點(diǎn):對檢測到的壓力下降有非常快的關(guān)閉反應(yīng),。在UHV和XHV應(yīng)用中,,通常由扇形真空閥(通常是真空閘閥)支持,以確保即使在非常高的壓差下也能實(shí)現(xiàn)密封隔離,。
真空全金屬閥 – 專為壓力,、溫度和輻射條件設(shè)計(jì)的一組真空閥。主要特點(diǎn):硬對硬(金屬對金屬)的密封,,而不是彈性密封,,因?yàn)閺椥悦芊鉄o法承受服務(wù)條件。
真空多閥裝置 – 特殊類型的真空閥,,將幾種真空閥的功能結(jié)合在一個(gè)單元中,。主要特點(diǎn):減少部件數(shù)量,,裝配速度快。通常是根據(jù)客戶要求定制,。
3位真空閥 – 真空隔離閥的特殊形式,,其中除了關(guān)閉和打開的位置外,還可以定義第三個(gè)閥位,。例如,一種應(yīng)用是為了避免在高壓差時(shí)由于閥門打開過快而產(chǎn)生的壓力脈沖,。 在第三個(gè)位置,,密封圈上的接觸壓力在短時(shí)間內(nèi)略微降低,而閥門卻沒有明顯的打開,,從而使壓力變化更加平穩(wěn),。

除了這些基本類型,還有大量的混合變體,,其中一些結(jié)合了不同的閥門技術(shù)或?yàn)槟承┨厥庖筇峁┙鉀Q方案,。
什么是高性能真空閥?
這些應(yīng)用中的真空閥在以下方面與標(biāo)準(zhǔn)真空閥不同:
最小化的顆粒排放
高性能真空閥經(jīng)過優(yōu)化,,不會通過其外殼,、機(jī)械裝置或密封件的材料放出顆粒,也不會通過其開閉或控制運(yùn)動的摩擦放出顆粒,。這是通過對所用材料的特殊選擇和處理,,以及通過某些設(shè)計(jì)細(xì)節(jié)來實(shí)現(xiàn)的,這些細(xì)節(jié)可以最大限度地減少或在某些情況下消除粒子的釋放,。
最小化的運(yùn)動脈沖
每一個(gè)閥門通過其開啟和關(guān)閉運(yùn)動產(chǎn)生運(yùn)動脈沖,。在自動驅(qū)動閥門的情況下,這些脈沖的范圍可以從輕微的振動到可以聽到和感知的硬沖擊,。這些運(yùn)動脈沖可能會對敏感的制造工藝產(chǎn)生負(fù)面影響,,例如,通過額外的顆粒釋放,。除了設(shè)計(jì)特點(diǎn)外,,高性能真空閥主要通過控制所謂的運(yùn)動曲線來減少這些脈沖。與乘客電梯的運(yùn)行方式類似,,在到達(dá)關(guān)閉點(diǎn)前不久,,關(guān)閉速度會減慢,以防止 "撞擊",。這些運(yùn)動曲線通??梢员恍薷模?,在關(guān)閉時(shí)間和關(guān)閉頻率方面,,它們可以適應(yīng)所需條件,。
中性化學(xué)和物理行為
真空閥總是改變真空工藝室的均勻性,無論其形式如何,。這種情況的發(fā)生,,部分是由于其幾何形狀的結(jié)果。流動路徑的變窄或變寬可以改變流動阻力和流動速度,,或者死角,,如閥板的移動空間,可以促進(jìn)沉積過程,。這也是通過開啟和關(guān)閉運(yùn)動發(fā)生的,,它改變了流動行為以及工藝氣體的濃度、分布,、混合和溫度,。高性能真空閥經(jīng)過優(yōu)化,盡可能地補(bǔ)償這種影響,,或使其可控,。為此,在設(shè)計(jì)中加入了各種額外的技術(shù),,這些技術(shù)遠(yuǎn)遠(yuǎn)超出了閥門的基本功能,,如開啟和關(guān)閉或控制。
精確的可重復(fù)的行為
高性能真空閥與標(biāo)準(zhǔn)溶液的區(qū)別主要在于其高度可重復(fù)的行為,。這意味著,,雖然標(biāo)準(zhǔn)解決方案在每個(gè)單獨(dú)的打開和關(guān)閉運(yùn)動中表現(xiàn)出波動,并在使用期間顯示出對其定義的性能值的偏差,,但高性能真空閥經(jīng)過優(yōu)化,,在長時(shí)間的使用中始終表現(xiàn)出相同的行為,定義在非常窄的范圍內(nèi),。這意味著它們能夠穩(wěn)定真空過程,,并將過程控制的復(fù)雜性降到zuidi。
真空閥的類型有哪些,?
真空閥和其他閥門一樣,,使用一些基本的力學(xué)原理,如閘閥,、擋板盤或旋轉(zhuǎn)盤來分離或隔離真空區(qū)域并控制體積流量,。然而,使用這些力學(xué)原理的基本條件是wanquan不同的,。例如,,高自由度的顆粒、精確控制非常小的體積流動,、密封,、最小的振動和沖擊是至關(guān)重要的特性,。因此,這些基本的機(jī)械裝置通常為真空閥設(shè)計(jì)得不同,。例如,,關(guān)閉機(jī)構(gòu)通常被設(shè)計(jì)為無摩擦地關(guān)閉,并引起最小的振動和沖擊,,如果有的話,。此外,控制運(yùn)動可以是極其精細(xì)的劑量,,密封被優(yōu)化,,以便在理想情況下不釋放任何顆粒,其靜態(tài)或動態(tài)特性在長期使用中保持穩(wěn)定,。
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