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瑞士VAT閥VAT 75.0 超高真空快速關(guān)閉閥
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- 2024-12-09 11:02:20
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【詳細(xì)說(shuō)明】
瑞士VAT閥VAT 75.0 超高真空快速關(guān)閉閥
快速,、可靠的超高真空和真空系統(tǒng)保護(hù)的標(biāo)準(zhǔn)對(duì)快速關(guān)閉閥的主要要求是快速反應(yīng)以及在空氣涌入的情況下保持可靠,。因漏造成的超高真空或高真空環(huán)境的損失(尤其是加速器或儲(chǔ)存環(huán)等大體量的損失),可能造成嚴(yán)重的污染問(wèn)題并需投入精力來(lái)恢復(fù)所需空水平,。75.0 超高真空快速關(guān)閉閥系列在壓力上升時(shí)具有快速的關(guān)閉反應(yīng),,可保護(hù)真空水平。該系列可在 10 毫秒內(nèi)(具體取決于閥門(mén)直徑)以極快的速度關(guān)閉真空線,。關(guān)閉后,,閥門(mén)密封 < E-9 mbarl/s。防止損壞是分秒必爭(zhēng)的,,因此,,75.0 系列為系統(tǒng)保護(hù)設(shè)定了標(biāo)準(zhǔn)。
75.0 系列為翻板閥 (DN 63-200),,采用氣動(dòng)驅(qū)動(dòng)方式,。閥體的標(biāo)準(zhǔn)烘烤溫度為最高 200℃,,驅(qū)動(dòng)器為最高 50℃,。閥蓋為金屬密封,閘封為氟橡膠,,饋通件以焊接金屬波紋管密封,。
快速關(guān)閉閥由獨(dú)立的控制器控制。該控制器通過(guò)定期檢查系統(tǒng)的就緒狀態(tài),、傳感器及其連接來(lái)確??焖訇P(guān)閉,。控制器采用模塊化設(shè)計(jì),,可針對(duì)不同的閥門(mén)/傳感器布置進(jìn)行配置,。快速關(guān)閉閥的狀態(tài)同樣通過(guò)該控制器提供,,以便進(jìn)行遠(yuǎn)程輸出,。同理,閥門(mén)也可以通過(guò)控制器的界面進(jìn)行遠(yuǎn)程控制,。
經(jīng)證明,,75.0 超高真空快速關(guān)閉閥系列可在各種工藝條件下的所有加速器和儲(chǔ)存環(huán)設(shè)施中提供可靠性能,成為了超高真空和高真空系統(tǒng)可靠保護(hù)的標(biāo)準(zhǔn),。
75.0 超高真空快速關(guān)閉閥系列的閥體材料為不銹鋼,。標(biāo)準(zhǔn)法蘭連接器為 CF-F,也可選擇客戶法蘭,。
該系列閥體的輻射抗性為 108 Gy,,閘封的輻射抗性為 105 Gy(106 Gy 可選),氣動(dòng)驅(qū)動(dòng)器的輻射抗性為 104 Gy,。首維護(hù)前的標(biāo)準(zhǔn)時(shí)間為 2000 次開(kāi)關(guān),,這意味著該閥門(mén)系列在用于其目的時(shí)實(shí)際是免維護(hù)的。
75.0 超高真空快速關(guān)閉閥的主要特點(diǎn)
兼容超高真空和高真空部件快速的高真空保護(hù)關(guān)閉機(jī)制安全關(guān)閉后可以輕松恢復(fù)至準(zhǔn)備運(yùn)行狀態(tài)
高度可靠
優(yōu)點(diǎn):
技術(shù)成熟
實(shí)際免維護(hù)
擁有成本較低
瑞士VAT閥VAT 75.0 超高真空快速關(guān)閉閥
技術(shù)數(shù)據(jù)
尺寸 DN 63 (2?"), DN 100 (4"), DN 160 (6"), DN 200 (8") 驅(qū)動(dòng)器 氣動(dòng) 雙作用 閥體材料 不銹鋼 饋通件 波紋管 標(biāo)注法蘭 CF-F 泄漏率 閥體 < 1 × 10-10 mbar ls-1 閥體 < 1 × 10-9 mbar ls-1 壓力范圍 1 × 10-10 mbar to 2 bar (絕對(duì)壓強(qiáng)) 首維護(hù)前開(kāi)關(guān)次數(shù) 2000次 烘烤溫度 閥體 ≤ 200°C 驅(qū)動(dòng)器 ≤ 50 °C 輻射抗性 閥體
閥板密封件
氣動(dòng)驅(qū)動(dòng)器108 Gy
< 105 Gy (option: 106 Gy)
104 Gy材料 閥體 AISI 316L (1.4435) 機(jī)構(gòu) AISI 316L (1.4435) 閥板 鈦 波紋管 AISI 316L (1.4404, 1.4435) 密封 閥蓋 金屬 閥板 氟橡膠 安裝位置 閥座側(cè)(帶標(biāo)記)
與氣流涌動(dòng)方向相反
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