廣樹CVD模壓非球面光學玻璃鏡片碳鍍膜機特點：

■ 采用多層隔板設(shè)計,，批量處理模壓光學鏡片的碳鍍膜工藝，每爐可放數(shù)千個鏡片,；

■ 智能化PLC程序升溫程序,，真空程序，CVD進氣程序,，操作簡單方便,；

■ 優(yōu)質(zhì)干式真空泵，杜絕油液污染,，可選擇國產(chǎn)干式泵和進口干式泵,；

■ 智能化CVD進氣控制系統(tǒng)，適應(yīng)于氮氣,、乙炔/甲烷,、氬氣、空氣的通入和混合,；

■ *的密封系統(tǒng),，泄漏率低，長期使用穩(wěn)定性高,；

廣樹CVD模壓非球面光學玻璃鏡片碳鍍膜機詳細資料：

主要用途

■ 適用于模壓非球面光學玻璃鏡片的碳鍍膜工藝,；

■ 適應(yīng)于半導(dǎo)體行業(yè)晶圓表面薄膜生長；

■ 可用于陶瓷及單晶體表面沉積碳納米管工藝,；

產(chǎn)品技術(shù)參數(shù)

產(chǎn)品型號：GS-30-700廣樹      

最高溫度： 700℃,；

使用氣氛： 氮氣、氬氣,、空氣,、二氧化碳、乙炔,、甲烷,、合氣體；

長期使用：400-700℃,；

波 動 度： ±1℃,；

顯示精度： 0.1℃；

均 勻 度： 容積30L,；

進氣流量：三路MFC質(zhì)量流量計控制,，一路浮子流量計控制；

升降系統(tǒng)： 兩套伺服升降系統(tǒng)平臺,；

控制系統(tǒng)：智能程序化PLC控制系統(tǒng),；

真空泵真空度： 極限真空1Pa；

腔內(nèi)真空度：≤10Pa；

降溫要求：外置冷卻風機,，降溫階段強制降溫,；

整機功率： 18KW；

電 源 ： 380V, 50Hz,；

水冷裝置：優(yōu)質(zhì)水冷機,PLC聯(lián)機控制

保護裝置： 過載,、過流、過壓保護,，接地,，熱電偶異常報警，第二回路超溫報警保護裝置,；冷卻水溫保護,，壓力過載保護；

技術(shù)服務(wù)： 提供設(shè)備使用過程中的技術(shù)咨詢和支持,，接到客戶故障通知3個工作時內(nèi)立即響應(yīng),。