廣樹CVD化學(xué)氣相沉積碳鍍膜機特點：

采用多層隔板設(shè)計,，批量處理模壓光學(xué)鏡片的碳鍍膜工藝,，每爐可放數(shù)千個鏡片；

智能化PLC程序升溫程序,，真空程序,，CVD進氣程序，操作簡單方便,；

優(yōu)質(zhì)干式真空泵,，杜絕油液污染，可選擇國產(chǎn)干式泵和進口干式泵,；

智能化CVD進氣控制系統(tǒng),，適應(yīng)于氮氣、乙炔/甲烷,、氬氣,、空氣的通入和混合；

*的密封系統(tǒng),，泄漏率低,，長期使用穩(wěn)定性高；

廣樹CVD化學(xué)氣相沉積碳鍍膜機詳細資料：

主要用途

適用于模壓非球面光學(xué)玻璃鏡片的碳鍍膜工藝,；

適應(yīng)于半導(dǎo)體行業(yè)晶圓表面薄膜生長,；

可用于陶瓷及單晶體表面沉積碳納米管工藝；

產(chǎn)品技術(shù)參數(shù)

產(chǎn)品型號：GS-30-700廣樹      

最高溫度： 700℃,；

使用氣氛： 氮氣,、氬氣、空氣,、二氧化碳,、乙炔、甲烷,、合氣體,；

長期使用：400-700℃；

波 動 度： ±1℃,；

顯示精度： 0.1℃,；

均 勻 度： 容積30L,；

進氣流量：三路MFC質(zhì)量流量計控制，一路浮子流量計控制,；

升降系統(tǒng)： 兩套伺服升降系統(tǒng)平臺,；

控制系統(tǒng)：智能程序化PLC控制系統(tǒng)；

真空泵真空度： 極限真空1Pa,；

腔內(nèi)真空度：≤10Pa,；

降溫要求：外置冷卻風(fēng)機，降溫階段強制降溫,；

整機功率： 18KW,；

電 源 ： 380V, 50Hz；

水冷裝置：優(yōu)質(zhì)水冷機,PLC聯(lián)機控制

保護裝置： 過載,、過流,、過壓保護，接地,，熱電偶異常報警,，第二回路超溫報警保護裝置；冷卻水溫保護,，壓

力過載保護,；

技術(shù)服務(wù)： 提供設(shè)備使用過程中的技術(shù)咨詢和支持，接到客戶故障通知3個工作時內(nèi)立即響應(yīng),。