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產(chǎn)品簡(jiǎn)介
詳細(xì)介紹
一,、用途：
二、技術(shù)參數(shù)
1.目鏡
| 類(lèi) 別 | 放大倍數(shù) | 視場(chǎng)（mm） |
| 大視野目鏡 | 10X | φ18 |
2.物鏡
| 類(lèi) 型 | 放大倍數(shù) | 數(shù)值孔徑NA | 工作距離（mm） |
| 長(zhǎng)工作距離平場(chǎng)消色差物鏡 | 5X（明場(chǎng)） | 0.12 | 18.3 |
| 10X（明暗場(chǎng)） | 0.25 | 8.9 | |
| 20X（明暗場(chǎng)） | 0.40 | 8.7 | |
| 40X（明暗場(chǎng)） | 0.60 | 3.7 | |
| 80X（明場(chǎng)） | 0.80 | 0.96 |
3.光學(xué)放大倍數(shù)：50X -- 800X 系統(tǒng)參考放大倍數(shù)：50X-5000X
4.濾色片組：黃色,、藍(lán)色,、綠色、磨砂玻璃
5.偏光裝置：可插入式起偏振片和三目頭內(nèi)置檢偏振片
6.載物臺(tái)：二層機(jī)械移動(dòng)式（配有快速移動(dòng)裝置） 尺寸:210mmX140mm,移動(dòng)范圍:75mmX50mm
7.粗微同軸調(diào)焦機(jī)構(gòu),，微動(dòng)手輪格值：0.002mm
8.落射照明器：6V/20W鹵素?zé)?，亮度可調(diào)
9.防霉：*的防霉系統(tǒng)
4.濾色片組：黃色,、藍(lán)色,、綠色、磨砂玻璃
5.偏光裝置：可插入式起偏振片和三目頭內(nèi)置檢偏振片
6.載物臺(tái)：二層機(jī)械移動(dòng)式（配有快速移動(dòng)裝置） 尺寸:210mmX140mm,移動(dòng)范圍:75mmX50mm
7.粗微同軸調(diào)焦機(jī)構(gòu),，微動(dòng)手輪格值：0.002mm
8.落射照明器：6V/20W鹵素?zé)?，亮度可調(diào)
9.防霉：*的防霉系統(tǒng)
10.成像系統(tǒng):500萬(wàn)高像素的數(shù)字?jǐn)z像頭
三、系統(tǒng)組成
大平臺(tái)硅片檢測(cè)顯微鏡（TGP-50C）: 1.顯微鏡 2.適配鏡 3,、500萬(wàn)高像素?cái)z像頭4,、計(jì)算機(jī)（選配）
四、總放大參考倍數(shù)
電腦型硅片檢測(cè)顯微鏡（TGP-50C）：50--5000倍 （17寸顯示器為例）
五,、選購(gòu)件
1.硅片測(cè)量軟件TX-3000C 2.目鏡： 20X 10X（帶刻度
TGP-50C明暗場(chǎng)硅片檢測(cè)顯微鏡是適用于對(duì)太陽(yáng)能電池硅片的顯微觀察,。本儀器配有大移動(dòng)范圍的載物臺(tái),、落射照明器,、長(zhǎng)工作距離的平場(chǎng)消色差物鏡、大視野目鏡,，圖像清晰,、襯度好，同時(shí)配有偏光裝置,，及其高像素的數(shù)碼攝像頭.本儀器配有暗場(chǎng)物鏡,使觀察硅片時(shí)圖像更加清晰,是檢測(cè)太陽(yáng)能電池硅片的”金字塔” 的微觀形貌分布情況,及硅片的缺陷分析的理想儀器.
硅片檢測(cè)顯微鏡可以觀察到肉眼難觀測(cè)的位錯(cuò),、劃痕、崩邊等;還可以對(duì)硅片的雜質(zhì),、殘留物成分分析.雜質(zhì)包括: 顆粒,、有機(jī)雜質(zhì),、無(wú)機(jī)雜質(zhì)、金屬離子,、硅粉粉塵等,，造成磨片后的硅片易發(fā)生變花、發(fā)藍(lán),、發(fā)黑等現(xiàn)象,，使磨片不合格. 是太陽(yáng)能電池硅片生產(chǎn)過(guò)程中*的檢測(cè)儀器之一.