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產品簡介
詳細介紹
一,、用途： TGP-40C大平臺硅片檢測顯微鏡是適用于對太陽能電池硅片的顯微觀察,。本儀器配有大移動范圍的載物臺、落射照明器,、長工作距離的平場消色差物鏡,、大視野目鏡，圖像清晰,、襯度好,，同時配有偏光裝置，及其高像素的數(shù)碼攝像頭.是檢測太陽能電池硅片的”金字塔” 的微觀形貌分布情況,及硅片的缺陷分析的理想儀器. 硅片檢測顯微鏡可以觀察到肉眼難觀測的位錯,、劃痕,、崩邊等;還可以對硅片的雜質、殘留物成分分析.雜質包括: 顆粒,、有機雜質,、無機雜質、金屬離子,、硅粉粉塵等,，造成磨片后的硅片易發(fā)生變花、發(fā)藍,、發(fā)黑等現(xiàn)象,，使磨片不合格. 是太陽能電池硅片生產過程中*的檢測儀器之一
二、技術參數(shù)
1.目鏡
| 類 別 | 放大倍數(shù) | 視場（mm） |
| 大視野目鏡 | 10X | φ18 |
2.物鏡
| 類 型 | 放大倍數(shù) | 數(shù)值孔徑NA | 工作距離（mm） |
| 物鏡 | 4X | 0.10 | 18.3 |
| 10X | 0.25 | 8.9 | |
| PC20X | 0.40 | 8.7 | |
| PC40X | 0.65 | 3.7 |
3.光學放大倍數(shù)：40X -- 500X
4.濾色片組：黃色,、藍色,、綠色,、磨砂玻璃
5.偏光裝置：可插入式起偏振片和三目頭內置檢偏振片
6.載物臺：（配有快速移動裝置）
尺寸：400*300mm 移動范圍：254*254mm[標配]
7.粗微同軸調焦機構，微動手輪格值：0.002mm
8.落射照明器：12V/50W鹵素燈,，亮度可調
9.防霉：*的防霉系統(tǒng)
5.偏光裝置：可插入式起偏振片和三目頭內置檢偏振片
6.載物臺：（配有快速移動裝置）
尺寸：400*300mm 移動范圍：254*254mm[標配]
7.粗微同軸調焦機構，微動手輪格值：0.002mm
8.落射照明器：12V/50W鹵素燈,，亮度可調
9.防霉：*的防霉系統(tǒng)
10.成像系統(tǒng):日本專業(yè)進口攝像頭或500萬高像素的數(shù)字攝像頭
三,、系統(tǒng)組成
大平臺硅片檢測顯微鏡（TGP-40C）: 1.顯微鏡 2.適配鏡 3、進口專業(yè)攝像頭 4,、計算機
四、總放大參考倍數(shù)
電腦型硅片檢測顯微鏡（TGP-40C）：50--4000倍 （17寸顯示器為例）
五,、選購件
1.硅片測量軟件TX-3000C 2.目鏡： 20X 10X（帶刻度