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邁可諾技術(shù)有限公司
主營產(chǎn)品： 美國Laurell勻膠機,WS1000濕法刻蝕機,Cargille光學凝膠,EDC-650顯影機,NOVASCAN紫外臭氧清洗機 |
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主營產(chǎn)品： 美國Laurell勻膠機,WS1000濕法刻蝕機,Cargille光學凝膠,EDC-650顯影機,NOVASCAN紫外臭氧清洗機 |
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| 參考價 | 面議 |
更新時間：2024-05-16 13:24:28瀏覽次數(shù)：6416
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| 應用領域 | 電子/電池 |
|---|
型號： 反應離子刻蝕機PlasmaStar 200/200RIE
產(chǎn)地： 美國
品牌： Axic
環(huán)球供應,，本地服務,！MYCRO專業(yè)為您提供實驗室RIE反應離子刻蝕機設備，*的技術(shù)服務及售后,，MYCRO值得您的的信賴,！
技術(shù)規(guī)格：
型號 | PlasmaStar 100 | PlasmaStar 100RIE | PlasmaStar 200 | PlasmaStar 200RIE |
艙體尺寸 | 直徑254×深度356mm | 直徑200×深度280mm | 寬305×高305×深406mm | 寬305 ×高200×深406mm |
艙體材質(zhì) | 標配為陽極氧化鋁艙體 | |||
常用氣體 | 空氣，氧氣,，氫氣,，氬氣，氮氣,，CF4,，SF6等和其他混合氣體 | |||
氣路控制 | 標配2路MFC，PlasmaStar 100多可選配4路,， | 標配2路MFC,，PlasmaStar 200多可選配5路； | ||
控制系統(tǒng) | 電阻觸摸屏操作界面 | |||
程序控制 | PC觸屏控制,，可編程序,，無線存儲數(shù)據(jù) | |||
射頻頻率 | 13.56 MHz | |||
射頻功率 | 0~600W瓦之間距連續(xù)可調(diào)，自動匹配 | 0~1000W瓦之間距連續(xù)可調(diào),，自動匹配 | ||
電極設計 | 標準圓柱形籠式電極,； | 標準圓柱形籠式電極； 可選交替多層托盤電極,； 可選RIE平面處理水冷平板電極 | ||
設備尺寸 | 寬800 x 深850 x 高525mm,； | 寬1033 x 深850 x 高635mm； | ||
