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邁可諾技術(shù)有限公司
主營產(chǎn)品： 美國Laurell勻膠機(jī),WS1000濕法刻蝕機(jī),Cargille光學(xué)凝膠,EDC-650顯影機(jī),NOVASCAN紫外臭氧清洗機(jī) |
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邁可諾技術(shù)有限公司
主營產(chǎn)品： 美國Laurell勻膠機(jī),WS1000濕法刻蝕機(jī),Cargille光學(xué)凝膠,EDC-650顯影機(jī),NOVASCAN紫外臭氧清洗機(jī) |
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| 參考價 | 面議 |
更新時間：2024-05-16 16:47:05瀏覽次數(shù)：6761
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| 產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 價格區(qū)間 | 面議 |
|---|---|---|---|
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 電子/電池 |
腔室材料是硬質(zhì)陽極氧化鋁,， 有幾種不同的電極設(shè)計,，包括用于反應(yīng)離子刻蝕（RIE）和平面處理的水冷平板電極，用于表面清洗或處理的交替多層托盤電極,，用于小化離子損傷的下游電極,，和用于普通的圓柱形籠式電極。
1,、腔體尺寸：直徑≥200mm,，深度≥280mm；
2,、腔體材質(zhì)：硬質(zhì)陽極氧化鋁矩形腔體,；
3、處理腔背面材質(zhì)：鋁,；
4,、處理腔門：要求全自動腔門；
5、兩路工藝氣體,，≥2路質(zhì)量流量控制器控制氣體流量,，氣體輸入腔室?guī)蛄髟O(shè)計；
6,、射頻功率：0~600W連續(xù)可調(diào),，13.56MHz，自動匹配,，自然風(fēng)冷,；
7、配備RIE平面水冷平板電極,；
8,、7英寸及以上顯示器、觸摸屏,、圖形用戶界面,；
9、程序控制：觸摸屏電腦控制,，無線程序存儲,；
10、Windows操作系統(tǒng),，兼容Windows office軟件,，USB接口，可進(jìn)行外部電腦遠(yuǎn)程控制的功能,；
11,、狀態(tài)和出錯信息提示，過程數(shù)據(jù)和出錯信息存儲,，可選擇自動和手動操作模式,，過程數(shù)據(jù)可以導(dǎo)出，工藝參數(shù)以圖形方式呈現(xiàn),，可實(shí)時監(jiān)控,，自動實(shí)現(xiàn)泄露檢測；
12,、配套緊急急停按鈕（EMO),，配套電路斷路器，機(jī)械聯(lián)鎖（門傳感器）和真空聯(lián)鎖（壓力開關(guān)）,，通過軟件可進(jìn)行遠(yuǎn)程的真空聯(lián)鎖,；
13、典型的光刻膠刻蝕速率：80nm/min,；
14,、典型工藝均勻性：≥±10%,；
