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邁可諾技術(shù)有限公司
主營(yíng)產(chǎn)品： 美國(guó)Laurell勻膠機(jī),WS1000濕法刻蝕機(jī),Cargille光學(xué)凝膠,EDC-650顯影機(jī),NOVASCAN紫外臭氧清洗機(jī) |
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更新時(shí)間：2025-03-12 10:13:53瀏覽次數(shù)：2811
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一,、納米壓印機(jī)的工作原理
納米壓印技術(shù)通過物理壓印的方式,，將模板（模板表面具有納米級(jí)圖案）的微結(jié)構(gòu)轉(zhuǎn)移到目標(biāo)材料表面，主要分為以下兩種主流工藝：
1. 熱壓?。═hermal NIL）
步驟：
加熱軟化：將聚合物材料（如PMMA,、SU-8等）加熱至玻璃化轉(zhuǎn)變溫度以上，使其軟化,。
壓印成型：用硬質(zhì)模板（如硅,、石英）在高壓下壓入軟化的聚合物，形成納米結(jié)構(gòu),。
冷卻脫模：降溫固化聚合物后,，分離模板，保留納米圖案,。
特點(diǎn)：工藝簡(jiǎn)單,、成本低，但高溫可能限制對(duì)熱敏感材料的應(yīng)用,。
2. 紫外光固化壓?。║V-NIL）
步驟：
涂覆光刻膠：在基材表面旋涂紫外光固化膠（低粘度樹脂）。
壓印曝光：用透明模板（如石英）壓合膠層,，同時(shí)紫外光照射固化膠體,。
脫模與刻蝕：分離模板后，通過刻蝕去除殘留膠層,，得到納米結(jié)構(gòu),。
特點(diǎn)：室溫操作、分辨率高（可達(dá)<50nm）,，適合精密器件制造,。
納米壓印優(yōu)勢(shì)：
超高分辨率：超越傳統(tǒng)光刻的物理衍射極限。
低成本：無需復(fù)雜光學(xué)系統(tǒng),，適合大面積圖案化,。
材料兼容廣：可加工金屬、聚合物,、玻璃等多種基材,。
二,、納米壓印機(jī)技術(shù)特點(diǎn)
CNI v3.0系列納米壓印機(jī)是一款專為實(shí)驗(yàn)室開發(fā)的即插即用，兼具熱壓印和紫外壓印兩種功能,，而且可以快速的實(shí)現(xiàn)真空環(huán)境下的壓印,。UV蓋和連接器的壓印腔室，控制模塊,，用于自動(dòng)控制壓印過程（壓力,，溫度，UV曝光等）,，壓印室可實(shí)現(xiàn)真空兼容,，低至1mbar。
★1.1承載基片：≤210mm的各種基片,，高度20mm,；
1.2壓印真空度：1mbar；
1.3加熱溫度：最高溫度250℃,；
1.4最大壓力：≥5bar,；
1.5 UV波長(zhǎng)：4個(gè)組合的LED光源，波長(zhǎng)365nm,，組合光的功率可達(dá)到11.6W,，LED光源的溫度被實(shí)時(shí)檢測(cè)，擁有過熱保護(hù)功能,；
1.6 UV最大功率：≥11,600mW
1.7 印章載體：1個(gè)可更換的直徑為210 mm的加熱元件,，還可以用作壓印腔中的印模承載平臺(tái)，能夠在高達(dá)250℃的溫度下進(jìn)行熱壓??；
1.8 壓印軟件：運(yùn)行CNI 軟件，該軟件控制壓印過程中的所有內(nèi)容（壓力,，溫度,，紫外線照射，時(shí)間等）
三,、納米壓印機(jī)的應(yīng)用
納米壓印技術(shù)憑借其高分辨率和低成本特性,，廣泛應(yīng)用于以下領(lǐng)域：
1.半導(dǎo)體與集成電路
制造高密度存儲(chǔ)芯片（如NAND閃存、MRAM）,。
光子集成電路（如硅光器件,、光柵耦合器）,。
優(yōu)勢(shì)：替代傳統(tǒng)EUV光刻,，降低優(yōu)良制程成本。
2.光學(xué)器件與顯示技術(shù)
增強(qiáng)現(xiàn)實(shí)（AR）衍射光波導(dǎo),。
液晶顯示（LCD）導(dǎo)光板微結(jié)構(gòu),。
超表面透鏡（Metalens）的納米天線陣列,。
優(yōu)勢(shì)：實(shí)現(xiàn)復(fù)雜光學(xué)結(jié)構(gòu)的低成本批量生產(chǎn)。
3.生物醫(yī)學(xué)與傳感器
微流控芯片（Lab-on-a-Chip）的納米通道,。
表面增強(qiáng)拉曼散射（SERS）基底,。
生物分子檢測(cè)的納米孔陣列。
優(yōu)勢(shì)：高精度結(jié)構(gòu)提升檢測(cè)靈敏度與特異性,。
4.新能源與柔性電子
鈣鈦礦太陽(yáng)能電池的納米陷光結(jié)構(gòu),。
柔性電子（如可穿戴傳感器）的導(dǎo)電圖案。
透明導(dǎo)電膜（如銀納米線網(wǎng)格）,。
優(yōu)勢(shì)：兼容柔性基材（PET,、PI），支持卷對(duì)卷（R2R）工藝,。
5.防偽與裝飾
包裝的全息防偽標(biāo)簽,。
奢侈品表面的納米紋理裝飾（如抗指紋、啞光效果）,。
優(yōu)勢(shì)：微結(jié)構(gòu)可定制化,，難以復(fù)制。
