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邁可諾技術(shù)有限公司

主營產(chǎn)品: 美國Laurell勻膠機(jī),WS1000濕法刻蝕機(jī),Cargille光學(xué)凝膠,EDC-650顯影機(jī),NOVASCAN紫外臭氧清洗機(jī)

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公司信息

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鄧經(jīng)理
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4008800298
機(jī):
13681069478
真:
址:
洪山區(qū)珞獅南路147號未來城A棟
編:
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www.mycro.net.cn
網(wǎng)址:
www.mycro.cn
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http://sorrent.com.cn/st119375/
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GEMStar XT臺式原子層沉積系統(tǒng)
臺式原子層沉積系統(tǒng)
參考價(jià) 面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 型號 GEMStar XT
  • 品牌 其他品牌
  • 廠商性質(zhì) 代理商
  • 所在地 北京市

更新時(shí)間:2025-03-12 17:30:47瀏覽次數(shù):1266

聯(lián)系我們時(shí)請說明是化工儀器網(wǎng)上看到的信息,,謝謝!

【簡單介紹】
產(chǎn)地類別 進(jìn)口 價(jià)格區(qū)間 80萬-100萬
應(yīng)用領(lǐng)域 電子/電池,電氣
產(chǎn)品特點(diǎn)
美國ARRADIANCE公司的GEMStar XT系列臺式 ALD系統(tǒng),,在小巧的機(jī)身(78 x56 x28 cm)中集成了原子層沉積所需的所有功能,可zui 多容納9片8英寸基片同時(shí)沉積,。GEMStar XT全系配備熱壁,,結(jié)合前驅(qū)體瓶加熱,管路加熱,,橫向噴頭等設(shè)計(jì),,使溫度均勻性高達(dá)99.9%,氣流對溫度影響減少到0.03% 以下,。高溫度穩(wěn)定度的設(shè)計(jì)不僅實(shí)現(xiàn)在8英寸基體上實(shí)現(xiàn)膜厚的不均勻性
【詳細(xì)說明】

美國ARRADIANCE公司的GEMStar XT系列臺式 ALD系統(tǒng),,在小巧的機(jī)身(78 x56 x28 cm)中集成了原子層沉積所需的所有功能,可多容納98英寸基片同時(shí)沉積,。GEMStar XT全系配備熱壁,,結(jié)合前驅(qū)體瓶加熱,管路加熱,,橫向噴頭等設(shè)計(jì),,使溫度均勻性高達(dá)99.9%,氣流對溫度影響減少到0.03% 以下,。高溫度穩(wěn)定度的設(shè)計(jì)不僅實(shí)現(xiàn)在8英寸基體上實(shí)現(xiàn)膜厚的不均勻性優(yōu)于99%,而且更適合對超高長徑比的孔徑結(jié)構(gòu)等3D結(jié)構(gòu)實(shí)現(xiàn)均勻薄膜覆蓋,,可實(shí)現(xiàn)對高達(dá)1500: 1長徑比微納深孔內(nèi)部的均勻沉積,。


GEMStar XT 產(chǎn)品特點(diǎn):

* 300℃ 鋁合金熱壁,對流式溫度控制

* 175℃溫控150ml前驅(qū)體瓶,,200℃溫控輸運(yùn)支管

* 可容納多片4,,68英寸樣品同時(shí)沉積

* 可容納1.25英寸/32mm厚度的基體

* 標(biāo)準(zhǔn)CF-40接口 

* 可安裝原位測量或粉末沉積模塊等選件

* 等離子體輔助ALD插件

* 多種配件可供選擇

GEMStar XT 產(chǎn)品型號:

GEMStar XT

* 大8英寸/200 mm基片沉積(4'和6' 可選)

* 單/雙路前驅(qū)體輸運(yùn)支管,, 4/8路前驅(qū)體瓶接口

* 不可升級為等離子體增強(qiáng)ALD

GEMStar XT-R

* 大8英寸(200mm)基片沉積(4'和6' 可選)

* 單/雙路前驅(qū)體輸運(yùn)支管,, 4/8路前驅(qū)體瓶和CF-40接口

* 可升級為等離子體增強(qiáng)ALD

 臺式原子層沉積系統(tǒng)

GEMStar XT-P

* 大8英寸/200mm基片沉積(4'和6 '可選)

* 單/雙路前驅(qū)體輸運(yùn)支管, 4/8路前驅(qū)體瓶和CF-40接口

* 裝備高性能ICP等離子發(fā)生器

  13.56 MHz 的等離子源非常緊湊,,只需風(fēng)冷,, 高運(yùn)行功率達(dá)300W

* 標(biāo)配3組氣流質(zhì)量控制計(jì)(MFC)控制的等離子氣源線,,和一條MFC控制的運(yùn)載氣體線,,使難以沉積的氧化物、氮化物,、金屬也可以實(shí)現(xiàn)均勻沉積,。



 新產(chǎn)品發(fā)布: 臺式原子層沉積系統(tǒng) GEMStar NanoCUBE

* 大100 mm 立方體樣品 沉積

* 單路前驅(qū)體輸運(yùn)支管, 2路前驅(qū)體瓶接口

* 主要用于3D多孔材料,以及厚樣品的沉積


豐富配件:


多樣品托盤:

* 多樣品夾具,,樣品尺寸(8", 6", 4")向下兼容,。

* 多基片夾具,多同時(shí)容納9片基片,。

臺式原子層沉積系統(tǒng) 

溫控?zé)?/span>托盤:

* 可加熱樣品托盤,, 高溫度500℃,可實(shí)現(xiàn)熱盤-熱壁復(fù)合加熱方式,。


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粉末沉積盤:


臺式原子層沉積系統(tǒng) 

臭氧發(fā)生器:


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 真空進(jìn)樣器(Load Lock) 臺式原子層沉積系統(tǒng) 晶振測厚儀臺式原子層沉積系統(tǒng) 
 前驅(qū)體瓶:臺式原子層沉積系統(tǒng)  前驅(qū)體加熱套臺式原子層沉積系統(tǒng) 

粉末旋轉(zhuǎn)沉積罐模塊:

配合熱壁加熱方式,,進(jìn)一步實(shí)現(xiàn)對微納粉末樣品全保型薄膜均勻沉積包覆。 

臺式原子層沉積系統(tǒng) 臺式原子層沉積系統(tǒng)

手套箱接口: 

可從側(cè)面或背面wan美接入手套箱,,與從底部接入手套箱不同,,不占用手套箱空間。由于主機(jī)在手套箱側(cè)面,,反應(yīng)過程中不對手套箱有加熱效應(yīng),,不影響手套箱內(nèi)溫度。

 

臺式原子層沉積系統(tǒng)

臺式原子層沉積系統(tǒng)

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應(yīng)用案例

臺式原子層沉積系統(tǒng)

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應(yīng)用領(lǐng)域

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