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邁可諾技術(shù)有限公司
主營產(chǎn)品: 美國Laurell勻膠機(jī),WS1000濕法刻蝕機(jī),Cargille光學(xué)凝膠,EDC-650顯影機(jī),NOVASCAN紫外臭氧清洗機(jī) |

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參考價(jià) | 面議 |
更新時(shí)間:2025-03-12 17:30:47瀏覽次數(shù):1266
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產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 價(jià)格區(qū)間 | 80萬-100萬 |
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應(yīng)用領(lǐng)域 | 電子/電池,電氣 |
美國ARRADIANCE公司的GEMStar XT系列臺式 ALD系統(tǒng),,在小巧的機(jī)身(78 x56 x28 cm)中集成了原子層沉積所需的所有功能,可多容納9片8英寸基片同時(shí)沉積,。GEMStar XT全系配備熱壁,,結(jié)合前驅(qū)體瓶加熱,管路加熱,,橫向噴頭等設(shè)計(jì),,使溫度均勻性高達(dá)99.9%,氣流對溫度影響減少到0.03% 以下,。高溫度穩(wěn)定度的設(shè)計(jì)不僅實(shí)現(xiàn)在8英寸基體上實(shí)現(xiàn)膜厚的不均勻性優(yōu)于99%,而且更適合對超高長徑比的孔徑結(jié)構(gòu)等3D結(jié)構(gòu)實(shí)現(xiàn)均勻薄膜覆蓋,,可實(shí)現(xiàn)對高達(dá)1500: 1長徑比微納深孔內(nèi)部的均勻沉積,。
應(yīng)用案例
應(yīng)用領(lǐng)域