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2021年6月9日在上海徠卡客戶體驗(yàn)中心(Leica Microsystems CEC),，開展了“徠卡電鏡制樣在材料領(lǐng)域的制樣流程及實(shí)機(jī)操作演示"的直播活動(dòng)。該講座圍繞徠卡CEC簡介,、材料領(lǐng)域樣品電鏡制樣難點(diǎn),、以及通用制備流程及實(shí)驗(yàn)案例，進(jìn)行了系統(tǒng)的介紹和實(shí)機(jī)操作演示,。

上海徠卡客戶體驗(yàn)中心（Leica Microsystems CEC）于今年四月開張,，坐落于丹納赫上海總部內(nèi),，緊鄰虹橋機(jī)場和虹橋火車站,。CEC中配有展示區(qū)域、樣機(jī)擺放區(qū),、樣品制備間,、開放式教室、維修中心等,，能夠開展客戶現(xiàn)場/遠(yuǎn)程DEMO,、remote 培訓(xùn)、市場活動(dòng),、內(nèi)部及客戶培訓(xùn)班等,。

目前，材料領(lǐng)域樣品具有尺寸分布大,、組成材質(zhì)復(fù)雜,、物理化學(xué)性質(zhì)多變等特點(diǎn)，對電鏡制樣帶來極大的挑戰(zhàn),。其中,，精準(zhǔn)定位和表面無損傷處理是兩大難點(diǎn)。

徠卡顯微系統(tǒng)電鏡制樣產(chǎn)品---精研一體機(jī)（EM TXP）能夠在加工過程中,，實(shí)時(shí)觀察樣品表面和截面狀況,，并且能夠?qū)崿F(xiàn)高精度(步進(jìn)精度500 nm)機(jī)械切割、研磨,、拋光,，解決樣品精準(zhǔn)定位問題；隨后,，三離子束切割儀(EM TIC3X)能夠使用Ar⁺離子，對機(jī)械加工后的樣品截面進(jìn)行切割拋光，去除表面應(yīng)力損傷,，得到真實(shí)的樣品表面結(jié)構(gòu),。

對于大部分塊狀、片狀,、以及粉末樣品(壓片或者包埋后),，我們可以首先使用TXP進(jìn)行定點(diǎn)切割、研磨,、拋光,，預(yù)先制備出接近目標(biāo)位置的樣品截面。隨后,，再使用TIC3X進(jìn)行定點(diǎn)離子束切割,，制備出無應(yīng)力損傷的樣品截面。最后,，根據(jù)所選擇的電鏡表征方法,，進(jìn)行樣品表面鍍膜(離子濺射金屬膜或者蒸鍍碳膜)。

對于尺寸較大的塊狀樣品,，我們可以使用離子束拋光策略替代離子束切割方案,，以保證樣品截面無應(yīng)力損傷的前提下，盡可能提高樣品的加工效率,。