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英??礥L1000(fab)氦質(zhì)譜檢漏儀

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產(chǎn)品型號

品       牌

廠商性質(zhì)代理商

所  在  地杭州市

更新時間:2025-03-31 19:33:19瀏覽次數(shù):12143次

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應用領域 化工,電子/電池,綜合
英??礥L1000(fab)氦質(zhì)譜檢漏儀移動式氦檢漏儀專門設計用于滿足苛刻的工業(yè)檢漏要求:具有耐用性強、測試靈活,、靈敏度高,、啟動快,響應準確迅速,,系統(tǒng)安可靠等特點,。

英福康UL1000(fab)氦質(zhì)譜檢漏儀

INFICON(德國)UL1000 fab移動式氦檢漏儀專門設計用于滿足苛刻的工業(yè)檢漏要求:具有耐用性強,、測試靈活性好,、靈敏度高、啟動快,,響應精準迅速,,系統(tǒng)安可靠等特點。

UL1000 fab符合微電子工業(yè)生產(chǎn)的要求,。從堅固的金屬外殼到方便移動的滾輪 ,,至 I·C AL, 用于解除在10 -11 至10 -12 高靈敏漏率范圍中長平衡時間 的運算法則,都無不顯示了其*性,。

系統(tǒng)軟件包含帶有故障查找指令的*自診斷程序,。并可調(diào)用防止氦氣或工藝氣體污染的保護功能。英福康UL1000(fab)氦質(zhì)譜檢漏儀的通風系統(tǒng)不會干擾通常清潔室中從天花板至地面的空氣流動,。渦輪分子泵的抽速和壓縮比可降低并解除氦污染,。

UL1000 fab氦質(zhì)譜檢漏儀具有可轉(zhuǎn)動的控制界面,裝在儀器商的顯示器用十分清楚的大型字體顯示測量結(jié)果于狀態(tài)信息,,這樣可遠距離方便地觀察讀值,。 通過更新軟件,新的固件可通過標準接口在數(shù)分鐘內(nèi)完成安裝,。

應用:

1,、半導體工藝設備的維護,該設備本身帶或未帶有渦輪分子泵

2,、工藝氣體系統(tǒng)的檢測與安裝

3,、元器件在組裝前的漏率測試

4、要求高抽速,、高靈敏度以及清潔測試條件的應用場合

 

優(yōu)勢所在:

1,、具有*的ICAL本底穩(wěn)定功能,提供在10-12毫巴 •升/ 秒范圍內(nèi)無比*的測量速度和穩(wěn)定性,。

2、可270度旋轉(zhuǎn)的顯示器,,大而清楚的字體可遠距離方便地觀察讀值,。可以數(shù)顯,,模擬顯和趨勢顯示三種顯示方式,。菜單式控制軟件,易于使用,。

3,、高性能渦旋式干泵,抽速:25米3/小時@50Hz,。

4,、德國普發(fā)三級渦輪進氣分子泵,抽速:>70升/秒,,采用半磁懸浮軸承,,即使90000轉(zhuǎn)/分鐘的轉(zhuǎn)速也不會磨損軸承,高氦壓縮比:比其他檢漏儀高2-4倍,。

5、兩條鍍釔的銥絲,,當一只燈絲斷了以后,,能自動切換到另一只。UL1000*的結(jié)構(gòu)設計使燈絲可耐大氣沖擊和污染,。離子源保修3年。

6,、UL1000采用全逆擴散檢漏方式,即使是在精檢和超精檢模式依然采用逆擴散檢漏方式,。有效地減少對檢漏儀質(zhì)譜室的污染。UL1000的質(zhì)譜室終生免維護,。

7,、采用毛細管式TL7校準漏孔,不受環(huán)境溫度變化影響,,因此不需要溫度補償,。*的測試罐校準模式不僅校準儀器,也校準檢漏罐,,是精準的校準,。

英??倒驹诒本?,上海和廣州設有維修中心及備件倉庫,,可以提供24小時服務,。工程師全部在德國總部接受過嚴格培訓。國內(nèi)的各維修中心存有備用氦檢漏儀,,可在緊急情況下提供給用戶免費使用,。 INFICON有專門維修代理,可提供日常技術支持及維修,。

 

技術參數(shù):

小可檢漏率(按AVS2.1和EN1518標準) <5×10-12mbar.l/s
小可檢漏率(吸入模式) <3×10-8mbar.l/s
入口壓強粗檢模式 15mbar
精檢模式 2mbar
超精檢模式 0.4mbar
抽泵抽速 16-25立方米/小時
氦氣抽速(進氣口處)粗檢模式 8升/秒
精檢模式 7升/秒
超精檢模式 2.5升/秒
可檢質(zhì)量數(shù) 2,、3、4amu,氫,,3氦,,氦
電源電壓 110-120V;220-240V
重量 110公斤,;242磅
尺寸,,包括手把(長×寬×高) 1068×525×850毫米

 

 

 

 

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