德國INFICON氦質(zhì)譜檢漏儀，干式氦氣檢漏儀 UL3000 Fab (PLUS),，UL1000 Fab的升級強化版,。

INFICON 氦氣檢漏儀 UL3000 Fab (PLUS) 設(shè)計用于滿足半導(dǎo)體應(yīng)用中的泄漏檢測要求。

德國INFICON氦質(zhì)譜檢漏儀具有靈活性,、可移動性,、高靈敏度和可靠性，能夠快速啟動并提供快速準(zhǔn)確的測量結(jié)果,。

優(yōu)點

1,、快速獲得結(jié)果

改進后的真空系統(tǒng)采用低維護真空泵設(shè)計，在大氣壓力下即可檢測泄漏,。耐用質(zhì)譜系統(tǒng)確保了較長的運行時間和較低的維護成本,。UL3000 Fab PLUS 中的 HYDRO-S 軟件可消除系統(tǒng)中的水汽，使泄漏檢測過程更加迅速,。UL3000 Fab PLUS 采用成熟的嗅探器線路 SL3000（長度可達(dá) 10 m）,，嗅探能力得到進一步提升。

2,、旋轉(zhuǎn)式遙控顯示器

新型觸摸屏顯示器可遠(yuǎn)距離顯示測量結(jié)果和狀態(tài)信息,。通過用戶引導(dǎo)型菜單結(jié)構(gòu)可輕松進行操作，即使缺乏經(jīng)驗的操作員也能勝任,?？赏ㄟ^智能手機或平板電腦對 UL3000 Fab (PLUS) 進行無線控制 - 無需特殊軟件或應(yīng)用程序。按下按鈕,，即可將記錄和存儲的檢測結(jié)果傳輸?shù)狡渌鎯橘|(zhì)中,，以進行進一步分析。

3、纖薄設(shè)計,，實現(xiàn)高度的可操作性

低重心,、大底輪、符合人體工程學(xué)設(shè)計的手柄和纖薄外殼,，使得 UL3000 Fab (PLUS) 即使在狹小的空間內(nèi)也能移動自如,。

功能

1、可在大氣壓力下測量

2,、直觀的用戶指南與觸摸屏顯示器

3,、堅固耐用的真空系統(tǒng)，不易受灰塵和污染物影響

4,、轉(zhuǎn)彎半徑小,，移動性能出眾

5、可使用智能手機通過網(wǎng)絡(luò)瀏覽器進行操作

6,、維護要求低

7,、設(shè)備上已附帶配件

典型應(yīng)用

1、在現(xiàn)有工具中安裝前對部件執(zhí)行檢漏

2,、工藝氣體系統(tǒng)的檢查和安裝

3,、使用 TC1000 測試盒執(zhí)行密封組件的自動測試

4、在對檢測條件和清潔度要求嚴(yán)苛的環(huán)境中進行的泄漏檢測