INFICON UL6000 氦氣檢漏儀旨在滿足最為苛刻的泄漏檢測應用的要求,。UL6000 采用經(jīng)過領域驗證的真空設計,，內置 INFICON 磚利軟件算法 I-CAL 和 Hydro-S，可以為測試提供靈活性和高靈敏度以及快速,、精確的測試結果,，確保任何泄漏檢測應用均可快速、輕松地完成,。

UL6000 在所有測試范圍內均可實現(xiàn)快速響應,，從達到測試條件到獲得最終結果的周期時間極其短暫,。此專門設計的真空架構可以提供持續(xù)高速的氦氣泵速以及極其快的響應，能夠滿足您的需求,。

好處

HYDRO-S （HYDROgen-Suppression） 能夠快速達到測試條件,。

UL6000 晶圓廠 - 附加優(yōu)勢

采用I·RISE，我們的智能上升速率：結合氦氣噴涂方法提供設備內增壓測試

在 10 秒內完成上升速率測量

有助于最大限度地減少泄漏測試和晶圓廠設備維護的一般時間

速度更快,，精度更高

I-CAL （智能 - 泄漏率計算算法） 確保對所有測試范圍內的泄漏做出快速響應,。

特殊的多進口渦輪分子泵可以在所有壓力下提供最佳氦氣泵速和高氦氣壓縮率，從而提供超卓靈敏度,、快速響應和清洗,。

前置渦輪分子泵可以對任何測試對象（包括最大容量和最大腔室）提供極其快速的響應。

經(jīng)過領域驗證的 INFICON 扇形磁場質譜儀采用沒有**,、免維護設計,，歷經(jīng)數(shù)年仍可提供準確且可重復的結果。

自我保護功能可保護 UL6000 免受氦氣和粒子污染,，甚至還設有自動沖凈周期,，確保 UL6000 隨時可用。

旋轉式顯示器/控制接口和可選遠程手動控制器提供操作靈活性,。

可通過軟件啟用對裝置和系統(tǒng)軟件的訪問控制,，從而阻止未經(jīng)授權地使用或意外修改測試設定。

通過電子郵件升級軟件,，確保您的 UL6000 始終處于最佳工作狀態(tài),。

新型工作站設計，帶有最佳高度的工作臺面,，并且配備有防靜電臺墊和工具箱,，便于測試。

典型應用

半導體和平板顯示器工具上測試元件,、部件和大型腔室泄漏測試

半導體和平板工具泄漏測試

航空元件,、部件和系統(tǒng)泄漏測試

儲存容器/儲罐的泄漏測試

UL6000 氦氣檢漏儀